Материал: Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Т. 6

Внимание! Если размещение файла нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам

Эта ветвь является антисимметричной. Вектор электриче­ ской поляризации не имеет компонент, перпендикулярных к пло­ скости, определяемой нормалью к пленке и волновым вектором (который параллелен поверхности).

Феррел £48] предсказал, что излучательная ветвь колебаний в тонкой пленке должна быть антисимметричной и что излучение должно быть поляризовано в плоскости излучения. Его работа положила начало большому числу дальнейших исследований, экспериментальных и теоретических. Очень подробный обзор относящихся сюда проблем дан в недавней статье Штейнмана [52]. Здесь мы лишь кратко изложим принципы наблюдаемых яв­ лений и результаты некоторых основных экспериментов.

а. Плазменное излучение. При облучении металлической пленки быстрыми электронами возбуждаемый плазмон может распадаться с образованием фотона; при этом излучается р-по- ляризованный свет с частотой <оР. Точная зависимость интен­ сивности от толщины пленки и угла излучения была впервые проверена Штейнманом [53] и Брауном и др. [54], а также недав­ ними весьма изящными экспериментами. Плазменное излуче­ ние фактически представляет собой переходное излучение в тон­ ких пленках в условиях плазменного резонанса [55]. Необходимо отметить, что, хотя частота излучения равна частоте объемного плазмона, наблюдаемое явление представляет собой поверхно­ стный эффект, специфический для тонких пленок.

б. Плазменное резонансное поглощение. При обратном про­ цессе излучательный плазмон в тонкой пленке может возбуж­ даться ^-поляризованным светом нужной частоты при наклонном падении (поскольку электрическое поле должно иметь ком­ поненту, нормальную к поверхности). Этот возбужденный плаз­ мон может либо затухать за счет внутренних процессов, либо излучать фотон, как описано в предыдущем разделе. В первом случае падающий фотон просто поглощается. Для ^-поляризо­ ванного света коэффициент пропускания может иметь минимум на частоте ар (фиг. 20). Внутреннее затухание обусловлено меж-

зонными переходами. Если энергия йа)р превышает работу вы­ хода металла, возможна электронная эмиссия, максимальная при частоте света, равной соР.

Во втором случае появляется максимум на частоте сор у ко­ эффициента отражения пленкой /7-поляризованного света (фиг. 21).

Следует отметить, что в силу сохранения компоненты волно­ ного вектора, параллельной поверхности пленки, эффекты взаи­ модействия плазменных и плоских электромагнитных волн мож­ но наблюдать только в направлениях пропускания и зеркаль­ ного отражения. Появление плазменно-резонансного минимума (максимума) в спектре пропускания (отражения) тонкой метал­

лической пленки, разумеется, легко предсказать, пользуясь фор­ мулами для р-поляризованного света [разд. IV, 1, б, 1)] и заме­ няя в них диэлектрическую проницаемость е ее выражением для свободного электронного газа вблизи частоты сор. Мы покажем это для случая очень тонкой пленки без подложки. Чтобы полу­ чить классические выражения, положим yd — 2ncfXx (так назы­

ваемая частота затухания) и 2 y r = ZoS^pT], Очевидно, что

Фиг.

20.

Коэффициент пропу­

Фиг. 21.

Коэффициент

отражения

скания

для

алюминиевой

пленки

для пленки

алюминия (d =

100 А) на

без подложки (d =

980 А)

в слу­

стекле в случае р-поляризованного

чае р- и s-поляризованного света

света [82].

 

 

при углах падения

15 и 30° [81J.

 

 

 

вблизи частоты сор для газа свободных электронов выполняются формулы Друде

е, « 1 - (со2/©2) = (а2 — Ор)/а2 « 2 (о — ар)/ар,

е2 ** Yd®p/©3~Y<,/<V

причем б| и ег гораздо меньше единицы. Тогда можно написать

А) — Л\ — о,

А2~ В 2~ (Z0S)7(e? +

е*)~ (Z0S)< <o’/[Y’ +

4(® - ©р)2].

В0=

4Z2,

В, -

4ZlS%<*pl[yl + 4 (о -

<*pf \

И

 

 

 

 

RP «

Y2/(Yd+ Yr)2 + 4 (ш - % f],

 

Т р ~

(Y$ +

4 (<о -

<*pf]l[{Vd + Yf)2 + 4 (<а - ©р)2].

Из этих

соотношений следует, что при а» =

величина Rp до­

стигает

максимума, а Тр — минимума. Впервые они несколько

иным способом были получены в работе [48].

 

в.

Плазменное излучение, возбуждаемое светом. Если метал­

лическая пленка освещается p-поляризованным

светом и излу­

чается спектральное распределение рассеянного света, то резкий пик на частоте шр может наблюдаться вне направления зеркаль­ ного отражения [56] и даже вне плоскости падения (фиг. 22).

Фиг . 22. Кривая записи на само­ писце излучения из алюминиевой пленки.

Угол падения 30°» угол наблюдения 48°; отсчет от нормали к пленке.

Угловое распределение интенсивности при этом такое же, как и в случае плазменного излучения. Это явление нельзя объяс­ нить, предполагая сохранение волнового вектора, и оно было интерпретировано как следствие неоднородности или шерохо­ ватой поверхности пленки [57]. Приведенное объяснение прове­ ряли экспериментально, варьируя структуру пленки. Такие экс­ перименты могут дать количественную информацию о качестве поверхности. Уиллеме и Ритчи [58] развили микроскопическую теорию, учитывающую упругое рассеяние плазмонов, что экви­ валентно вышеупомянутому подходу.

г. Оптическое возбуждение и излучательный распад безыз­ лучательных поверхностных плазмонов.

Явление, которое мы сейчас опишем, не специфично для тон­ ких пленок, а связано с поверхностными плазмонами на границе между металлом и диэлектриком, которые не могут излучать.

Недавно было показано [59], что эти безызлучательные по­ верхностные плазмоны могут возбуждаться электромагнитными волнами в условиях нарушенного полного отражения. Действи­ тельно, сильно затухающие волны, возникающие во второй среде с меньшим показателем преломления при отражении плоской электромагнитной волны от границы раздела между двумя ди­ электрическими средами, могут иметь ту же фазовую скорость, что и поверхностные плазменные волны. Если поверхность ме­ талла поместить достаточно близко к этой границе со стороны второй среды, то эти затухающие волны смогут взаимодейство­

вать с поверхностными плазменными волнами, и минимальное отражение можно будет наблюдать на частоте <о8. Этот эффект можно также предсказать феноменологически, пользуясь форму­ лами для тонкой диэлектрической пленки, ограниченной диэлек­ трической средой с большим показателем преломления и метал­ лической средой. Пример, рассмотренный в разд. 111,3,6,2), можно интерпретировать как увеличение поглощения энергии электромагнитного поля, обусловленное возбуждением безызлу­ чательных поверхностных плазмонов..

Непосредственное взаимодействие между плоскими электро­ магнитными волнами и безызлучательными поверхностными плазменными волнами из-за несовершенства поверхности воз­ можно и при отсутствии сохранения волнового вектора. Если из­ лучение испускается при облучении образца быстрыми электро­ нами, то максимум излучения соответствует частоте о* [60]. Стерн [61] объяснил это явление дефектами поверхности по аналогии с рассмотренным выше плазменным излучением, возбуждаемым светом. Такая интерпретация впервые была подтверждена экс­ периментами Тенга и Стерна [62]. Они наблюдали излучение света частотой tos при облучении быстрыми электронами дифрак­ ционной решетки, покрытой алюминием. Их результаты можно объяснить, только если предположить, что вектор обратной ре­ шетки складывается с волновым вектором поверхностного плазмона или вычитается из него. Это показывает, что несовершенство поверхности играет в данном процессе фундаментальную роль. В недавних более тонких экспериментах, где опять-таки исполь­ зуются дифракционные решетки [63], наблюдалось оптическое возбуждение безызлучательных поверхностных плазмонов и их последующий излучательный распад, включающий в себя мно­ гократное рассеяние.

Все явления, описанные в этом разделе, представляют собой плазменные резонансные эффекты, большинство из которых спе­ цифично для тонких пленок. Те из них, в которых сохраняется волновой вектор, можно предсказать феноменологически, вос­ пользовавшись приведенными выше формулами для тонких пле­ нок. Наблюдаемые резонансы обусловлены тем, что либо е(©р) « 0, либо величина е(©«) равна взятой с обратным зна­ ком диэлектрической проницаемости среды, которая находится

вконтакте с металлом.

4.ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА, СВЯЗАННЫЕ СО СТРУКТУРОЙ ПЛЕНКИ

Уже отмечалось, что в некоторых случаях полупрозрачные пленки с толщиной всего 100 А можно использовать для изуче­ ния оптических свойств металлов. Однако изменение структуры

этих пленок из-за различий в условиях их приготовления при­ водит к некоторой модификации их свойств. На фиг. 23 и 24 в качестве примера приведены спектры пропускания и отражения

трех

золотых

пленок приблизительно одинаковой

толщины

(d

120 А), но

с существенно различной структурой.

Можно

считать, что все эти пленки не имеют разрывов, но размеры кристаллитов в них уменьшаются от образца 1 к образцу 3 и

ориентация кристаллитов различная в разных образцах.

При длине волны порядка 1 мкм в поведении величин Т и R

для неупорядоченной структуры появляются некоторые особен­ ности. При определении диэлектрической проницаемости в ока­ зывается, что в 82 появляется что-то вроде новой полосы погло­

щения при энергиях, недостаточных для обычного межзонного поглощения; в то же время вклад внутризонных и межзонных переходов в ег не меняется заметным образом — он лишь слегка уменьшается. Эта новая полоса поглощения, по-видимому, свя­ зана с существованием точечных дефектов типа вакансий или газовых включений. Следует отметить, что подобные «аномаль­ ные» полосы поглощения наблюдались и при исследовании бо­ лее толстых золотых пленок, но их интенсивность падает после отжига.

Источник: https://studfile.net/preview/19992809/

Смотрите также: