Материал: Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Т. 6

45.

Е 11 i о 11

R. P„ Constitution

of

Binary

Alloys,

1st

suppl.,

MeGraw-Hill,

New York, 1965.

J

Vac. ScL

Technol.,

6,

46.

R i c h a r d s

J.

L.,

M c C a n n

W,

H.,

/.

644

(1969).

47. M o n c h

G. C.,

Wiss. Z. Martin-Luther-Univ., Halle-Wittenberg,

Math.-Na-

turwiss. Reihe, 2, 599 (1962).

12,

48.

M o h r T., Ann. Phys. ( Leipzig) [6],

175 (1953).

49.

M o h r

T.,

Wiss,

Z. Martin-Luther-Univ.,

Halle-Wittenberg, Math-Natur-

50.

wiss. Reihe, 2, 601

(1952).

[6], 14, 367 (1954).

M o h r T„ Ann. Phys. (Leipzig)

51.

Mo h r T . ,

Ann. Phys. (Leipzig)

[6], 14, 377 (1954).

52.

Z o r l l

U.,

Ann. Phys. (Leipzig)

[6], 14, 385 (1954).

53.

J o h n s o n

D.

B.,

B r o w n

L.

C., /.

Appl.

Phys.,

40,

1711 (1969).

54.

K i e n e l G.,

Ann. Phys. (Leipzig) [6], 6, 1

(1955).

55.

Z o r l l

U., Ann. Phys. (Leipzig) [6], 16, 7

(1955).

56.

P i n e s

В. Y a,

G r e b e n n i k

I. В.,

В a z у u г a

R.

I.,

Z о z u 1 у n

G.

V.,

57.

Phys. Status Solidi, 20, 213 (1967).

Appl.

Phys.,

40,

149

(1969).

J o h n s o n

D.

B.f

B r o w n

L. C., /.

1589

58.

B r o w n L. C.,

S a n d e r s o n

С. C., J o h n

C. St.,

Trans. AIME, 231,

59.

(1966).

P a r k i n s o n D., неопубликованные данные, 1963.

60.

Z o r l l

U.,

Wiss.

Z. Martin-Luther-Univ.,

Halle-Wittenberg,

Math.-Natur-

wiss. Reihe, 4, 283 (1955).

61. CM. [6].

L. S.,

Trans. AIME,

150,

157

(1942).

62.

D a r k e n

143

(1947).

63.

B i r c h e n a l l C . E., Me h

1 R. F.,

Trans. AfME, 171,

64.

L e C l a i r e

A. D.,

Progr.

Metal Phys., 1 , 306 (1949);

4, 265

(1953).

Предисловие к английскому изданию

5

!■ Анодные окисные пленки. С. Д ж. Д е л ь’О к а, Д. Л. П у л ф р и,

7

Л. Я н г (перевод А,

С. Даревского) .

.

.

I. В в ед ен и е .....................................................................

. .

7

И. Обзор некоторых основных характеристик анодирования

8

1. Поле перенапряжения

8

2. П одл ож к и .......................................................................

II

3. Методы получения: анодирование при постоянном токе

4. Мгновенные

значения ионной проводимости: нестационар­

ные п р о ц ессы .......................................................

напряжении . .

. . .

16

5. Анодирование при постоянном

18

6. Термическая

рекристаллизация

пленок пятиокисн тантала

20

и ниобия..................................

7. Фотостимулированный рост .

20

III. Теории ионной проводимости

21

1. В в е д е н и е ............................................................

2. Классические работы................................................................

. . .

23

3. Аномалия наклона Тафеля и теория Дюальда

4. Нестационарные процессы: генерация дефектов

по

Френ­

келю электрическим полем .......................................................

24

5. Эффективное

поле Дигнама. Теория медленной поляриза­

25

ции при нестационарных процессах впостоянном поле

6. Модель с двухзначной длинойактивации................................

пара­

28

7. Аморфные окислы: изменчивость и

распределение

метров узлов......................................................................

l g / от Е

2

8. Нелинейная

зависимость

lg /

от Е .

9. Объяснение

нелинейной

зависимости

31

10. Доказательства подвижности двух сортов

ионов .

24

11. Эллипсометрические доказательства

двухслойности . .

38-

проводимости на основе двухслойной модели .

. . . .

42

14. Основные данные по ионной проводимости .

45

15.

Границы применимости классической модели и

необходи­

46

16.

мость рассмотрения нормальных мод колебаний .

Влияние электронов на ионную проводимость .

48

IV. Газовое анодирование

48

3. Обсуждение экспериментальной методики

56

4.

Результаты . .

5.

Возможные механизмы роста окисных пленок

62

V. Диэлектрические свойства

65

1.

Введение . . . . .

65

2.

Процессы поляризации.....................

67

3.

Электронный перенос на постоянном токе

79

4.

Диэлектрический пробои

82

2 -

Размерные эффекты в электропроводности тонких металлических

97

пленок

и проволок. Д. К. Л а р с о н (перевод Э. М. Эпштейна) .

I. В в еден и е...............................................................

97

II. Теория классических размерныхэффектов

98

1. Объемная проводимость

98

2. Тонкие пленки

. • • .

100

3.

Тонкие проволоки

103

4.

Параметр зеркальности .

105

5. Анизотропия монокристалла

107

6. Температурная зависимость

110

III.

7. Измерения на одном образце .

117

Экспериментальные измерения

118

1.

Приготовление образцов . . . .

118

2.

Эксперименты с тонкими пленками .

121

3.

Эксперименты с тонкими проволоками

137

4.

Температурная зав и си м ость .........................

144

5.

Обсуждение экспериментальных результатов

152

IV.

Квантовые размерные эффекты .

158

1.

Теория..............................................

измерения

158

2.

Экспериментальные

161

3«

Оптические свойства металлических пленок. Ф. А б е л е с (Перевод

171

Э.

М. Эпштейна)

I.

В ведение...........................................

м еталл ов

171

II.

Оптические свойства

172

п л ен о к ..............................................

175

I.

Определения и обозначения

175

2

Формулы

176

3. Примеры.................

178

IV.

Очень тонкие пленки . . . .

191

1. Отражение и пропускание...............................................................

191

2. Эллиптическая поляризация света при отражении и пропу­

V.

скании ..........................

. 1 9 7

Анизотропные пленки .

197

1. Общие выражения

197

2.

Интенсивности .

199

3.

Ф а з ы .....................

.

200

4. Полное отраж ение..............................

200

VI.

5. Очень тонкие анизотропные пленки ......................................

201

Измерение оптических параметров металлических пленок

203

1.

Фотометрические измерения .

203

2. Поляриметрические измерения . .

207

3.

Интерферометрические измерения

208

VII.

4. Комбинированные м е т о д ы ....................................................................

208

Специфические

оптические свойства

тонких металлических

п л ен ок ..............................

.

210.

1. Вводные за м еч а н и я ...........................................

210

2.

Аномальный

скин-эффект в тонких пленках . . .

211

3.

Оптические плазменные резонансы в тонких пленках .

217

4. Оптические

свойства, связанные со

структурой пленки .

221

А.

И е л о и (п е р е в о д Н . Я. К и р ю х и н а )

.

228

I.

Введение...................

.

.

228

II.

Типы взаимодействия .

231

1. Прямое обменное взаимодействие............................................

связь (обменная

ани­

231

2. Ферромагнитно-антиферромагнитная

237

зотропия) .......................................

связь пленок

.

3. Магнитостатическая

249

4. Магнитостатическая

связь доменныхстенок

253

5. Дырочная и косвенная связи.......................................

268

III.

6. Разделение эффектов связи. Комбинацияэффектов .

275

Эффекты связи ...............................................................

. . .

278

1. Квазистатическое перемагничивание (намагниченность в ка­

279

ждом слое постоянна)...........................................

Намагниченность

.

2. Квазистатическое перемагничивание

не­

290

постоянна по толщине слоя .

3. Импульсное перемагничивание

300

4. Резонансные

явления . .

....................................

. .

303

5. Доменная структура взаимодействующих пленок

306

IV.

6. Анизотропия высших порядков и спиральная анизотропия .

310

Применения многослойных пленок........................

.

. .

322

1. Системы памяти со считыванием с разрушением информации

323

2. Системы памяти со считыванием без разрушения информации

324

V.

3. Некоторые другие применения

.

326

Заключение .

.

326

5 - Диффузия в металлических пленках, К. У и в е р (п е р е в о д Л, С. Д а -

334

р е в с к о г о )

I.

Введение

системы

334

334

II.

Металлические

.

1. Системы с неограниченной

растворимостью .

334

2. Системы с ограниченной растворимостью

.

337

III.

3. Системы с интерметаллическими соединениями

338

Экспериментальные методы

350

343

IV.

Экспериментальные результаты

350

1. Системы с интерметаллическими соединениями

2. Системы с неограниченной растворимостью

373

V.

3. Продольная диффузия

377

Заключение

383

Указатель авторов

389

Ф И ЗИ К А Т О Н К И Х П Л Е Н О К . Т. VI

Редактор В , С. Х А Н Г У Л О В А

Переплет художника Я. А. У с а ч е ва

Художественный редактор Ю . С . У р м а н ч е е в

Технический редактор Я. А . И о в л е в а

Корректор Я. Я. Б а р а н о в а

Сдано в набор 27/Х 1972 г. Подписано к печати 20/Ш 1973 г.

Бумага № I 60X90*/,12,25

бум. л. 24,50 печ. л.

Уч.*изд,

л. 25,03

Изд. JV» 20/6827. Цена 2 р. 12 к. Зак. 395

Совета Министров

СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли.

гд

Ленинград, Л-52, Измайловский проспект, 29