Материал: Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Т. 6

Внимание! Если размещение файла нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам

задачу, уже решенную Шоппером [18], которая возникает, когда тензор диэлектрической проницаемости пленки диагоналей, т. е. оси симметрии совпадают с координатными осями. Ось z, как обычно, выберем перпендикулярной к пленке, ось у — лежащей в плоскости падения, а ось х — перпендикулярной к этой пло­

скости. Тогда пленка будет характеризоваться тремя диэлектри­ ческими проницаемостями:

с* = К “ ikxf =

еу = К “ ikyf = "1>

ег = («г - ^ г ) 2 = Я г-

 

Коэффициенты отражения и пропускания (по амплитуде) определяются выражениями, которые справедливы также для изотропных пленок при условии, что они однородны:

Г= (Г,2 + г23е -2' <«-“ >Ч)/(1 + Г12г23е -2' <«-»> %

t = (tnt23e -{ *)/<1 + r12r23e -2' «в-*» ч). (10)

Формулы (10) легко получить, суммируя амплитуды много­ кратно отраженных и проходящих волн. Величина ri} и U>• суть

коэффициенты отражения и пропускания для каждой границы раздела (коэффициенты Френеля), а экспоненты описывают за­ паздывание фаз при прохождении отдельных волн через пленку. Величины g и h определяются уравнениями

e l - K = n l ~ kl - s ‘-

*Л “ “А

el - Щ, - К -

Ч)11 -

(Ч -

Ч)/(4+ *У\ -

 

 

-

[2« л /( » г + *эч - к

- ч ) с - «а *

2«А=2"A t1—s!W - *3/(4+ *34+

 

 

 

 

+ (Ч - Ч ) [ 4 4 / ( 4 + *Э Т -

Коэффициенты Френеля имеют вид

 

 

^12* s ~

(KQ 6*5 Ч" « ( К

о

Ч~ &

^s)>

 

Г2з, 5 ~

( S s i h s

Y s) I ( g s

Ih s

4- Y s)j

 

^12, s ~

1 4" ^12, s>

^231 5

^

4” ^23) s>

 

'и,= Р,-4/(г„ - thM

z o + 4 l(tp ~ “ <•)]>

4 ,

' I 4 /(* , -

A ) -

г .]/1Ч/(*р - A

) + 4

p ^ { ^ / f i y ) m( 1 4 “

p)»

^23,Дe {fty lfts) О

^23» p)«

2.ИНТЕНСИВНОСТИ

Формулы для коэффициентов отражения и пропускания можно записать в виде

 

п __ Q ch 2hr\ +

R sh 2kx\ +

q cos 2 g j] + г sin 2gT]

 

d o

 

5 ch 2hx\ +

T sh 2hr\ +

s cos 2gy\ + / sin 2gT)

9

 

T = ________________- ________________

*

( 12)

 

5 ch 21щ +

T sh 2/nri +

s cos 2gy\ + t sin 2 g i\

 

Для

s-поляризации

 

 

 

 

S

} != ( 1 ■+ S l + A|) (У, + e l +

*3 T 41’Jfj&

 

 

 

" - 1 6 V . W

+ *J).

I

}— о 1 - й - * э (ч - « 5 - * э т а д

J

} ------ 2*.(^.=F ^ | V . ± W + *31-

Для р-поляризации

 

s

}=

fЦ (C2 +

£ 2) +

g2 + A2] [Z2 (C2 + £2) + g2 + A2] 4=

 

 

+ 4Z 0Z s (gPC +

hpE)*,

T

}=

2 (ZpC +

hpE) (Zo =F Z s) lZ 0ZS(C2 + £ 2) 4= (g2 + A2)],

^ = 1 6 V s( 4 + AP)(C2 + ^2).

I } = “ [Zo(C2 + £ 2) - g2 - A2][Z2(C2 + £ 2) - g2 - A2] qx T 4Z0ZS (APC — g p E f,

t } - 2 ( h PC ~ SPE) (Zo + Zs) [V . (C2 + £ 2) ± (g2 + A2)].

3.ФАЗЫ

Из комплексных амплитуд (10) можно получить формулы для изменения фазы при отражении (6Г) и пропускании (6t). В результате будем иметь

 

X ch 2/гг) У sh 2hr\ + х cos 2gr\ +

z sin 2gr\

 

tg6r = V ch 2hr\ + Z sh 2Лт] — v cos 2gr) +

У sin

*

t g s ,=

U sin gr\ ch +

sh hr\ [u cos grj +

ю sin gt|]

 

U cos gr\ sh hr\ +

ch hr\ [w cos gi} и sin gr|]

 

 

 

Для s-поляризации

(13)

(14)

V = ( Y \ - t l - > $ I Y l + g ] + h % ,

Y — 2у а ( П + « ? + * !).

x = - X ,

у— г ^ Л Г . + й + А Э .

^= s 3(V, + g*+ K )'

* = W + W , + Y,)-

* - * * * . ( * > - £ - K).

« - д е + й + а д - я г - ч ) .

* = W s A Vl - l l -

“= MV,-*!-*!)•

Для р-поляризации

X =

4Z 0Z , (gpC +

hpE) (hpC - gpE),

 

 

 

 

У =

“ 2Z0(ApC -

 

gp£)fZ 2(C2+ £ 2) + g2p + A2],

 

V =

[Z2 (C2 + £ 2) -

g p2 ~ h2pJ [Z2 (С2 +

E2) + § l+

h2p],

Z =

2Z$ (gpC + hpE) [Z2 (C2+ E2) -

g2p -

A2J,

 

«/ «------2Zs(hpC -

gpE) [Z2(C2+ E2) +

g 2+

A2],

 

t» =

[Z2(C2+ £ 2) +

g2p + A2] [Zs2(C2+

£ 2) -

4 -

A2],

2 =

2Z0(gpC + Ap£ ) [Z2(C2+

S2) -

g2-

A2J,

 

U =

(gpC +

Ap£) [Z0ZS (C2+ £ 2) +

g 2+

A2],

 

 

« =

{ K C ~

S P E) fV

s(C2 +

£ 2) ~ 8 l ~

 

A2],

 

 

w ~ (g2+

Ap) (Z0 +

Z s) (С2 +

Д2).

 

 

 

 

 

4.ПОЛНОЕ ОТРАЖЕНИЕ

Единственными величинами, представляющими интерес, здесь являются R и бг. Они определяются формулами (11) и (13), но коэффициенты Q, R ,... теперь имеют другой смысл. Полагая

Y's — (S2 — /г*)1/а, Z's = n2slY's> буде!М иметь для s-поляризации

 

s } = (П + «5 +

О ?Л++ Ч ) * ^ О г Л .

 

г }= т 2УА К + Й + К ) + 21>, (У* + й + *Э.

 

5 }

= - (П + « ’ +

*1)( ^

+ г? + *1) =р m

 

 

I } - а ^ г Д П - г ! - Ч) ± » A ( i ? - * ! - *9-

 

Л = 4 1 ' 0К > ',

 

 

* = 41', I 'M .

 

 

г - ^ Х Р 'о —Й - *й.

» = 2 1 'Х (П + й + ЛЭ-

Для р-поляризации

 

 

 

 

 

 

5

} = [Z*(С2 + Е2) + g* +

A2 1 [z? (С2 +

В ) + g\ +

Л2] *

 

 

* 4 Z 0Z's(gpC + h pE)(hpC - g pE),

 

 

 

Т

} = + 2 Z Q(gpC + hpE )lz '\C 2 + I?) + gl + hl] +

 

 

+ 2Z;(ApC

- g p£)[Z2(C2 + £ 2) +

g2 + A2],

 

l

} -----Щ (C2 + E ) - g l ~

A2] [ z f (C2 +

£ * ) - * * -

A*] ±

 

±

4V ; ( ^ C + A p£)(ApC - g p£),

 

 

 

J } = ±

2Z,(hpC - g pE)[z';{<?+&)- g

l - A2] +

 

 

+

2Z;(gpC +

Ap£)[Z2(C2 +

£») - «* - A*],

 

 

* =

4Z0Z2(ApC

- g p£)2, * = 4Z0Z;(gpC + Ap£)2,

 

Z =

2Z;(ApC - g p£)[Z2(C2 +

£ 2) - g

2 -

A2],

 

 

y =

2Z;(gpC +

Ap£)[Z2(C2 +

£ 2) + g2 +

A2].

 

5.ОЧЕНЬ ТОНКИЕ АНИЗОТРОПНЫЕ ПЛЕНКИ

Выпишем здесь разложения в ряд числителя и знаменателя, ограничившись членами, линейными по т]. Разложения, содер­ жащие члены второго порядка по ц, слишком сложны и рабо­ тать с ними не проще, чем с точными формулами. В резуль­ тате будем иметь

R = (А , + л,тО /(В0 + В т ) . Т =

А (Y0YS или Z0Zs)/(fi0 +

В,Т1),

tg бг= <W(Z>0+ B tn), tg (б, +

y0T j)=tge( = C ;T!/(D ; +

D\ti).

Для

s-поляризации

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Л

 

 

(Уо

 

 

 

 

 

 

2 Vs +

Y0) 2nxkx = 2

(Ys + К0) е2л,

В0 ) =

 

^ )2,

5 ,

} =

С, =

 

2¥0( п 1 - г 1х)

 

А.

 

 

■?-л!

Л

= “

2УЛ .

с ; = п |

е

 

 

 

^ = = ^ о + ^

Ч

= г2х.

 

Для

р-поляризации

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Л

} =

(Z0 +

Zs)\

 

£

} =

2 (Z, +

Z0) ^e2y q= Z0ZS

j ,

Во

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

=

2Zo(tts

eij/)»

 

n

 

— z 2 — Z2

 

2Zs®2tf»

 

 

U0

 

^0

 

^s> ^1

 

=

»* -

4

-

Л0 tg2 Фоге5 tg2 Ф, ^

 

8lz

 

 

 

4

+ e2’2z■)'

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

DJ =

Z0+ Z S,

 

 

 

 

 

 

 

 

S 2e22

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

е 1г e2z

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

При полном отражении

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Rs

У2о +

¥ ' * -

2 [ГрЧх +

^

(е ,х -

п20)] ц

 

 

 

 

 

 

У2о +

У? +

2[Y0*2X~ K{*i* ~

«о)] Л

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

tgfir

2К0У; + 2У0(я ;- в ,я + 2У^)ц

 

 

 

 

 

 

Y l - Y ' s2 +

2Y's ( 4

+ z lx - 2 S 2)n

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Яр={Ч

 

+

Z ’l

-

2{v,„ + г; [«„-

 

-

 

 

 

 

- n S , g 4 » ( i - 4 T 4 )

+

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

+ ZoZ'a

З Д ' И Zo + Zs

+

 

 

 

 

 

+

2 { Z0e2у +

К

[— «Iу +

«О +

 

 

 

 

 

 

 

+

nJte!^

(

i

- 4

 

T

4

)

+

^

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

:‘+К 5,Й

 

81г ^

г 2г

 

 

 

tg«rp =

 

 

 

 

 

 

 

 

 

„2

4-е2

 

 

 

 

— Z'

+ 2{

+

е,

+ п40tg2q>0 (-j- — 2

Т

2) } ^

 

 

 

 

 

I

v «о

1г+ 8?г/ J

Источник: https://studfile.net/preview/19992809/

Смотрите также: