Материал: Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Т. 6

Внимание! Если размещение файла нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам

<Ро. гр а д

Ф иг. 6. Зависимость R., R P,'Tt, ТР, А, и АР от угла падения фо для пленки алюминия (d = 120 А, X 6500 А. Показатели преломления те же, что и на

фиг. 1).

как функции угла падения при Л = 6500 А. Результаты вычис­ лений нанесены на фиг. 6. Как видно из графика, с ростом ф0 функция t f e (<Po) монотонно возрастает, а Т, монотонно убывает. При фо = 90°, т. е. при скользящем падении, Rs — 1, Ts = 0, что

является общим результатом. Функция Яр(фо) сначала убывает,

достигает минимума при фот «

80°, а затем быстро возрастает

до #р(90°)=1. Функция Т'р(фо)

сначала достигает максимума

в точке фот, а затем убывает и при скользящем падении обра­ щается в нуль. На фиг. 6 показаны также зависимости Л,(фо) и

Ар (фо). Можно заметить, что Аа непрерывно убывает, тогда как Ар сначала возрастает, достигает максимума при фо~фот и

Фиг. 7. Те же величины, что и на фиг. 6, для пленки умеренно отражаю­ щего металла ( d = 1 5 0 A , Я = 5500 А, показатели преломления те же, что и на фиг. 4).

убывает при фо > фот. Для любого заданного значения фо вы­

полняются следующие неравенства: Я8(фо)^*/?р(фо), ТДфо)

^ Т ’р(фо), Л4(фо)^Лр(фо). В наших примерах Ra(0°)= RP(0°) — =0,752, Г,(0°) = ТР(0°) =0,086, RP(ф0т) «0,40, Тр(ф0т) «0,248.

Если умеренно отражающая пленка имеет толщину 150 А, то общий характер изменения различных фотометрических ве­ личин будет таким же, как и для алюминия. Графики этих ве­

личин показаны на

фиг. 7. Следует отметить, что значение

RP(фот) почти равно нулю. Такие пленки могут служить поля­

ризаторами в параллельных лучах.

 

На фиг. 8 представлены функции

(фо) и Яр(фо) для пленок

с параметрами п =

2,26, k = 1 ,7 7 ,

rf= 1 0 0 A на сильно отра­

жающей подложке (n8 = 0,55,_ ka= 6) при X = 5500 А. Характер

изменения этих величин такой же, как и в предыдущих приме­ рах.

В разд. VII, 3, г мы обсудим возможность возбуждения безызлучательных поверхностных плазмонов. Впервые подоб­ ная возможность была продемонстрирована Турбадаром [11],

Фиг. 8. Я,(фо) и

R P(фо) для пленки (я =

2,26, &

= 1,77, d = 100А) на

сильно отражающей

подложке (я, = 0,55, k, =

6) при

%= 5500 А.

который, однако, фактически не заметил, что его опыты имеют такой физический смысл. Если свет падает из среды с показа­ телем преломления «о > 1, а последней средой является воздух

(п * = 1 ), то

критический угол фс = arcsin(ns/n0)

можно

опре­

делить

так,

чтобы в отсутствие

металлической

пленки

при

Ф о>фе

было /Мфо)=Яр(фо) = 1

(полное отражение).

Для

сильно отражающей пленки подходящей толщины при углах падения ф0, превышающих фс, функция Rp(фо) обращается в

нуль. На фиг. 9 показаны результаты вычислений для той же

Фиг. 9. Ra(фо), R p (Фо). Tg(ф0)

и r p(cpo)

для

пленки алюминия (d =

120А,

Я = 6500 А, п = 1,30, k = 7,11),

нанесенной

на

призму из плавленого

кварца

(п0 = 1,4565, na = 1).

 

 

 

 

Свет падает со стороны призмы, последней средой («подложкой») является воздух. Сле­ дует обратить внимание на резкий минимум R^ вблизи критического угла.

пленки алюминия, когда средой, из которой падает свет, является плавленый кварц (п0 = 1,4565). В этом случае фс= 4 3 ° и Rp достигает минимума, равного приблизительно 0,02 при Ф о « 4 4 ,5 ° . Разница в поведении Re и Rp весьма велика: первая

из этих величин вблизи фс обнаруживает лишь небольшой пере­

гиб, тогда

как

последняя в интервале углов порядка

1° изме­

няется

на

0,95.

Следует также отметить, что функция

/?Р (фо)

имеет

при фо >

фс два минимума, второй из которых располо­

жен вблизи фо =

68°.

 

Фиг. 10. Л.(фо), Лр(фо), Г,(фо) и Гр(фо) для уже упоминавшейся ранее умеренно отражающей пленки (п = 2,26, k = 1,77, d = 150 А, А. = 5500 А), нанесенной на призму из плавленого кварца («о = 1,4565, п, = 1).

Аналогичные результаты, относящиеся к умеренно отражаю­ щей пленке, нанесенной на тот же материал («о = 1,4565), при­ ведены на фиг. 10. Здесь /?Р(<ро) имеет один плоский минимум

вблизи фо = 60°, который соответствует второму

минимуму для

сильно

отражающей

пленки. Функция Rs{фо)

имеет минимум

вблизи

фс. Сведений

о возбуждении

поверхностных плазмонов

в этом

случае не имеется. На фиг.

11 и 12 показаны угловые

эависимости А'а й ‘Ар для тех же двух пленок.

2) Эллипсометрические параметры. Приведем несколько при­

меров результатов, получающихся при эллипсометрических из­ мерениях, т. е. значений Чг и Д. Возьмем те же металлы, что и В предыдущих разделах, — алюминий и умеренно отражающий

Источник: https://studfile.net/preview/19992809/

Смотрите также: