Материал: Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения. Т. 6

Внимание! Если размещение файла нарушает Ваши авторские права, то обязательно сообщите нам

тах получили Скоув и Стилвелл, которые обнаружили сильное увеличение удельного сопротивления нитевидных кристаллов и лент в результате химического травления их поверхностей.

Размерные эффекты в сопротивлении галлиевых проволок изучали Фредеркинд и Рейман [181], Вейсберг и Джозефе [142] и Кохрэн и Якуб [182—184]. Галлий обладает орторомбической кристаллической структурой и является сильно анизотропным, с различным удельным сопротивлением вдоль каждой из трех главных осей. Кохрэн и Якуб выращивали монокристаллические проволоки квадратного сечения со стороной от 0,1 до 1 мм и с осями вдоль кристаллографических осей а, b [184] и с [183].

Поскольку галлий был очень чистым, с длиной свободного про­ бега электронов около 1 см при 0 К, результаты измерения раз­ мерной зависимости удельного сопротивления при низких тем­ пературах можно сравнивать с формулой Макдональда и Саргинсона для чисто диффузного рассеяния при малых k [см.

формулу (20)]]). Получаемые при этом значения ро/ для 0К составляли 23; 8,17 и 81,1 • 1042 Ом-см соответственно для тока, направленного вдоль осей а, Ь и с. Все эти значения превышали

значение ро/ = 4,4-10~12 Ом-см2, полученное в предположении, что на атом приходится по 3 свободных электрона; это озна­ чает, что в проводимость вносит вклад лишь часть поверхности Ферми. Объемное удельное сопротивление для галлия при 273 К вдоль осей а, Ь и с составляет соответственно 16, 7,5 и

50,3 мкОм-см [185].

Поскольку отношения сопротивлений не очень сильно зави­ сят от ориентации, можно сравнить отношения рос/роа и роь/роа с соответствующими отношениями величин р0/. Это сравнение показывает, что анизотропия проволок несколько больше анизо­ тропии массивных кристаллов, но разница меньше той, которую наблюдал Александров в оловянных и цинковых проволоках

[168]. Для всех

трех

ориентаций имело место увеличение ро/

с температурой в области от 0 до 4,2 К.

Александров

[186]

измерял также размерную зависимость

удельного сопротивления поликристаллических таллиевых про­

волок при температуре от 1,5 до

5,1 К. В результате экстрапо­

ляции

удельного сопротивления

для 0К получается значение

ро/ =

43-10-12 Ом-см2, что хорошо согласуется с данными Зава-

рицкого [187]. Это значение ро/ оказывается больше, чем в слу­ чае других трехвалентных металлов — алюминия, галлия и индия, — и соответствует всего 0,15 электрона проводимости на атом. При повышении температуры от 0 до 5 К ро/ возрастает на 18%.

4) Однако использование формул разд. 11,3 для анализа данных, полу­ ченных на монокристаллах, не оправдано; в этом случае предпочтительнее анализ Бейта и др. [71] и Александрова г Каганова [72] (ср. разд. 11,5,6).

4. ТЕМПЕРАТУРНАЯ ЗАВИСИМОСТЬ

До сих пор основное внимание уделялось размерной зависи­ мости удельного сопротивления тонких пленок и проволок. В этом разделе мы рассмотрим температурную зависимость сопротивления тонких образцов, особенно в области низких температур, где наблюдаются отклонения от теории Фукса для пленок и теории Дингла для проволок. Согласно расчетам Фукса, сопротивление тонкой пленки не выражается в виде суммы двух слагаемых, одно из которых зависит, а другое не зависит от температуры [см. (1)]. Это отклонение от пра­ вила Маттиссена делает затруднительным анализ зависящих от размеров отклонений от теории Фукса. Теория Дингла, на­ оборот, предсказывает относительно малое отклонение от пра­ вила Маттиссена, так что размерные отклонения от теории Дингла обычно отождествляют с размерными отклонениями от правила Маттиссена. Это, однако, не вполне оправдано, по­ скольку из теории Дингла следует отклонение от правила Мат­ тиссена [187а].

а. Тонкие пленки. Размерные отклонения от правила Маттис­ сена были впервые обнаружены Эндрю в ртутных проволоках и оловянных фольгах [96]. В области температур 1—4,2 К зави­ сящая от температуры часть сопротивления при уменьшении толщины проволоки или фольги возрастала быстрее. Такого рода размерные отклонения от правила Маттиссена наблюда­ лись затем в фольгах, проволоках и пленках многих металлов. Сообщалось об отклонениях от правила Маттиссена, наблюдав­ шихся в пленках серебра [188, 189], золота [189, 190] и алюми­ ния [141], в алюминиевых фольгах [82, 139], алюминиевых пластинах [191], индиевых фольгах [148] и индиевых пластинах [85].

Таннер и Ларсон [188] измеряли удельное сопротивление серебряных пленок как функцию от температуры в области от 4,2 до 295 К. Пленки эпитаксиально выращивались на нагретых подложках из каменной соли и слюды и имели толщину от 1700 до 28 000 А. Для выделения размерных эффектов в том же тем­ пературном интервале измерялось удельное сопротивление мас­ сивного серебряного образца. Отношение удельных сопротивле­ ний Р2954.2 изменялось от 12 до 175 для пленок и составляло

250 для массивного образца.

График температурной зависимости удельного сопротивле­ ния серебряных пленок приведен на фиг. 24. На фиг. 25 по­ казана температурно-зависимая часть удельного сопротивления (полное удельное сопротивление минус остаточное удельное со­ противление) как функция от температуры. Ниже 40 К сопро­ тивление массивного образца, как и следовало ожидать, про-

Т, К

Фиг. 24. Полные удельные сопротивления р серебряных пленок в зави­ симости от температуры [188].

порционально Р . Сопротивление пленок изменяется с темпера­ турой медленнее и для наиболее тонких пленок пропорцио­ нально Р . Выше 50 К все кривые совпадают и в области ком­ натных температур температурная зависимость сопротивления становится приблизительно линейной. Если сопротивления, обусловленные рассеянием электронов фононами и поверх­ ностью, аддитивны, то должно выполняться правило Маттиссена и все кривые на фиг. 25 будут совпадать при всех темпе­ ратурах. Из экспериментальных данных следует, что правило Маттиесена нарушается; отклонения от него представлены на фиг. 26.

Из приведенных здесь данных видна разница между темпе­ ратурно-зависимыми частями удельного сопротивления тонких пленок и массивного образца. Эта разница исчезает при высо­ ких и низких температурах и достигает максимума при 25 К для всех пленок. В облцети от 10 до 40 К температурно-зависимая

Ф иг. 25. Температурно-зависимая часть удельного сопротивления серебря­ ных проволок как функция температуры [188].

часть удельного сопротивления пленки толщиной 1700 А весьма заметно отличается от аналогичной величины для массивного образца. В этой области разность составляет 7% от полного удельного сопротивления, или, что более важно, 50% от его температурно-зависимой части. У более толстых образцов отклонение температурно-зависимой части удельного сопротив­ ления от объемного значения этой величины заметно в более узком температурном интервале, а величина этого отклонения примерно вдвое меньше.

Согласно теории Олсена, наиболее важную роль играет рассеяние на малые углы, которое приводит к столкновениям с поверхностью. Если пренебречь процессами переброса, угол рассеяния электрона на фононе приблизительно равен T/Q, где

0 — дебаевская температура. При низких температурах отно­ шение Т/0 становится очень малым и размерный эффект должен исчезнуть. При относительно высоких температурах, когда дли­

на свободного пробега электрона становится меньше толщины, размерный эффект также исчезает.

В промежуточной области температур размерный эффект должен наблюдаться, когда величина Г/0 сравнима с d/l, где d — толщина пленки, а I— длина свободного пробега электрона

для комбинированного рассеяния электронов на дефектах и фононах, т. е. 1/1 = 1/lei + 1 /1ер. Результаты, представленные на

Ф иг. 26. Разность между температурно-зависимой частью удельного сопро­ тивления пленки и температурно-зависимой частью удельного сопротивления массивного образца как функция от температуры [188].

фиг. 26, качественно согласуются с этой моделью. Подставляя значение дебаевской температуры для серебра 0 = 226 К, най­ дем, что величина Г/0 становится сравнимой с d/l в интервале

температур от 10 до 40 К. Как видно из фиг. 8, теория Фукса предсказывает также размерно-зависимое возрастание темпера­ турно-зависимой части удельного сопротивления, но отклонения от правила Маттиссена, следующие из теории Фукса, оказы­ ваются меньше наблюдаемых. На фиг. 8 представлена также температурная зависимость в теории Азбеля— Гуржи [79]. Однако наблюдаемые отклонения от правила Маттиссена не столь велики, как это следует из модели Азбеля — Гуржи.

Кривые на фиг. 26 указывают на размерно-зависимое воз­ растание температурно-зависимой части удельного сопротивле­ ния при низких температурах, приблизительно пропорциональ­ ное Т2. Это хорошо согласуется с расчетами Ван Зитвельда и

Источник: https://studfile.net/preview/19992809/

Смотрите также: