85. |
I Ы N.. Electrochim. Acta, 12, 1043 (1967). |
|
Extended |
a b s t r № |
|
||||||||||||||
86. |
O rd |
J., |
|
Dallas |
Meet., |
Electrochem. |
Soc., |
1967, |
42 |
||||||||||
|
(1967). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
87. |
О r d J.t частное сообщение, 1969. |
|
Electrochem. |
Soc., |
|
|
|
||||||||||||
88. |
M a s i n g |
L., O r m e |
J. |
E., |
Y o u n g |
L., /. |
108, |
428 |
|||||||||||
|
(1961). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/. Elec- |
|||
89. |
D a v i e s |
|
J. A., |
P r i n g l e J. P. S., G r a h a m R. L., |
B r o w n |
F., |
|||||||||||||
90. |
trochem. Soc., 109, 999 (1962). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
D a v i e s |
|
J. A., |
D o m e i j |
B., /. Electrochem. Soc., 110, 849 (1963). |
|
|
|||||||||||||
91. |
D a v i e s |
|
J. A., |
D o m e i j |
B., |
P r i n g l e J. P. S., |
B r o w n |
F., |
/. |
Electro |
|||||||||
92. |
chem. Soc., 112, 675 (1965). |
|
|
(1968). |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
W h i 11 о n J. L., /. Electrochem. Soc., 115, 58 |
|
Extended |
abstr., |
||||||||||||||||
93. |
P r i n g l e |
J. P. S., Dallas Meet. Electrochem. Soc., 1967, |
|||||||||||||||||
|
№ 35 (1967); New York |
Meet., Electrochem. |
Soc., |
1969, |
Extended |
abstr., |
|||||||||||||
|
№> 11 |
(1969). |
|
|
D., J. Phys. Chem. Solids, |
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
94. |
A m s e l |
G., S a m u e l |
23, |
1707 |
(1963). |
|
|
||||||||||||
95. |
P г i n g 1 e J. P. S., частное сообщение, |
1968. |
|
|
(1964). |
|
|
|
|
||||||||||
96. |
C h e s e l d i n e |
D. |
M.f /. |
Electrochem. |
Soc., Ill, 1128 |
|
|
|
|
||||||||||
97. |
P a w e l |
R. E., J. Electrochem. Soc., 114, |
1222 |
(1967). |
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
98.K l e i n G. P., Dallas Meet., Electrochem. Soc., 1967, Extended abstr., № 38 (1967).
99. |
A m s e 1 G., |
C h e г к i C., |
N a d a i J. P., S i e j к a J., |
New |
York |
Meet., |
|
100. |
Elecfrochem. Soc., 1969, Extended abstr., № 12 (1969). |
|
|
(1958) |
|||
H e a v e n s |
O. |
S., K e l l y |
J. C. Proc. Phys. Soc., London, 72, 906 |
||||
|
[cp. В e n n e 11 H E., В e n n c t J. M., в книге: Physics of Thin |
Films, vol. 4, |
|||||
|
1967, p. 78; |
русский перевод: Физика тонких пленок, |
т. 4, |
«Мир» |
1970, |
||
101. |
стр. 7.] |
S., |
Y o u n g L., |
J. Electrochem. Soc., Ill, 1411 (1964). |
|
||
K u m a g a i |
|
||||||
102. |
D e 1 Г О с a |
C. |
J., Y o u n g |
L., Proc. Conf. Ellipsometry |
1968; |
Surface Sci., |
|
16,331 (1969).
103.V e г m i 1 у e a D. А., частное сообщение, 1963.
104.B o r n M., H u a n g K-, Dynamical Theory of Crystal Lattices, Oxford Univ.
105. |
Press, London and New York, 1954. |
|
|
||
S z i g e t i B., Trans. Farad. Soc., 45, 155 (1949). |
Press, |
London and |
|||
106. |
F r o h l i c h |
H., Theory of Dielectrics, Oxford Univ. |
|||
107. |
New York, |
1958. |
Comman., 6,341 (1968). |
|
|
F r i t z s c h e C . R., Solid State |
1368 |
(1964). |
|||
108. |
T i b o l G. |
J., H u l l R. W., /. |
Electrochem. Soc., Ill, |
||
109.S c h r o e n W., /. Appt. Phys., 39, 2671 (1968).
110.S h a p i r o S . , Phys, Rev. Lett., 11, 80 (1963).
111. |
Z a i n i n g e r |
К. |
H., |
W a x m a n |
A., |
IEEE Trans. |
Elec. Dev., |
16, 333 |
|||||||||||
|
(1969). |
|
|
|
|
|
|
Solid |
State |
Electr., |
|
|
|
|
|
|
|
||
112. W a x m a n |
A., M a r k |
G., |
12, |
751 |
(1969). |
|
|
||||||||||||
113. |
L e c o y |
G., G o n s o v |
L |
Phys. Status Solidi, 30, 9 (1968). |
|
|
|||||||||||||
114. |
P o l l a c k |
S. R., |
M o r r i s |
С. E., Trans. AIME, 233, |
497 |
(1965). |
abstr., |
||||||||||||
115. |
M e a d |
C. A., |
New York |
Meet., |
Electrochem. |
Soc., |
1969, |
Extended |
|||||||||||
116. |
№ 45 (1969). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(1968). |
|
|
|
||||
L a m b e J., J a k 1 e v i c R. C., Phys. Rev., 165, 821 |
|
|
|
||||||||||||||||
117. |
M i l e s |
J. L., |
S m i t h |
P. H., |
J. Electrochem. Soc., |
110, |
1240 (1963). |
|
|||||||||||
118. |
P o p i a n o |
P. L., IEEE |
Trans. Parts, Mater. Packag., |
1, |
217 |
(1965). |
|||||||||||||
119. |
W o r l e d g e |
P. |
L., W h i t e |
D., |
Brit. I. |
Appl. |
Phys., |
18, |
1337 |
(1967). |
|||||||||
120. T e r r y |
L. |
|
E., |
K o m a r e k |
E. |
E., |
U. |
S. |
At. |
|
Energy |
Commun, |
|||||||
121. |
SC-TM-307-63- (14), 1963. |
|
|
L. P., |
Appl. Phys. Lett., |
12, |
396 |
(1968). |
|||||||||||
L o c k e r L. D., |
S k o l n i c k |
||||||||||||||||||
122. |
M о r r i t z |
F. L., |
S h i m a |
R., |
R e e s |
D. E., M i 11 e г A., 8th Symp. Aerosp. |
|||||||||||||
123. |
Mater. Proc. Eng., I960, 1965. |
Forces |
Tech. Rep. AFAL |
TR-67-72, 1967. |
|||||||||||||||
S c h a r f e |
M., U. S. Armed |
||||||||||||||||||
124. |
Н а г t е 1 Е., |
Диссертация, |
Inst. Tech. Elec., |
Tech. |
Hochschule, |
Munrch, |
||||
|
1967. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
125. |
A s a n o K . , |
Диссертация, Univ. of Minnesota, |
1964. |
1 (1964). |
|
|||||
126. |
J o h n s o n |
M. C., |
IEEE |
Trans. Component Parts, 11, |
|
|||||
127. |
J e n n i n g s |
|
T. A., |
M c N e i l l W., S a l o m o n |
R. E., |
/. |
Electrochem. Soc., |
|||
|
114, 1134 (1967). |
|
|
|
|
|
|
|
||
128. |
L a v r i n e t s |
D. A., U. |
S. |
A r m e d Forces |
Tech. Rep. |
AFAL |
TR-67-73, |
|||
|
1967. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
129.J a c k s o n N. F., /. Mater. Sci., 2, 12 (1967).
130.V r a t n y F., /. Amer. Ceram. Soc., 50, 283 (1967).
131. L e e |
W. L., P u l f r e y D. L., Y o u n g L., New York Meet., Electrochem. |
Soc., |
1969, Extended abstr., Я> 22 (1969). |
132.Н а з а р о в а P. И., Ж . физ. химии, 36, 522 (1962).
133.О’Н a n 1 о n J. F., Appl. Phys. Lett., 14, 127 (1969).
134. |
L i g e n z a |
J. R., /. AppL Phys., 36, 2703 (1965). |
|
|
|
|
|
||||||||
135. |
К r a i t c h m a n J., /. Appl. Phys., 38, 4323 |
(1967). |
|
|
|
|
|
||||||||
136. |
T i b o l G. J., Insulation |
(Libertyville, 111.), |
11, 25 (1965). |
|
|
|
|||||||||
137. |
L e e |
W. L., О v i 1 e |
G., P u 1f r e у |
D. L., Y о u n g |
L., |
/. Electrochem. Soc., |
|||||||||
|
117, |
1172 (1970). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
138. |
R a m a s u b ra m a n |
i a n |
N., |
New |
York |
Meet., |
Electrochem. |
Soc., |
1969, |
||||||
|
Extended abstr., Яг 24 (1969). |
J. L., IEEE |
Trans. Parts, |
Mater. Pakag. (1), |
|||||||||||
139. |
W h i t m o r e |
R. E., |
V o s |
s e n |
|||||||||||
140. |
SIO |
(1965). |
|
O. A., /. Appl. Phys., 37, 2924 (1966). |
|
|
|
|
|||||||
W e i n r e i ch |
|
|
|
|
|||||||||||
141. |
L e w i c k i |
G., |
M e a d |
C. A., |
J. Phys. Chem. Solids, |
29, |
1255 |
(1968). |
Elec |
||||||
142. |
A 1 e x a n d e r J. H., |
J o y c e R. J., |
S t e r 1 i n g H. F., |
Monreal |
Meet., |
||||||||||
|
trochem. Soc., |
1968, Extended abstr., N2 462 |
(1968). |
|
|
|
|
|
|||||||
143.F r i e s e r R., /. Electrochem. Soc., 115, 1092 (1968).
144.С 0b i n e J. D., Gaseous Conductors, Dover, New York, 1968.
145. |
T h o m p s o n J. B., |
Proc. Roy. |
Soc., London, A262, 503 (1961). |
|||||
146. |
K n e w s t u b b |
P. F., D a w s o n |
P. M., T i с к n e r A. W., |
/. Chem. Phys., |
||||
147. |
38, 1031 (1963). |
|
Vac. Sci. Technol., 7, 330 (1970). |
|
|
|||
O’H a n 10n J. F., /. |
|
1970, Extended |
||||||
148. |
O’H a n l o n |
J. |
F., |
Los |
Angeles |
Meet., Electrochem. |
Soc., |
|
|
abstr., Яг 13 (1970). |
|
Me. N e i l l , Appl. Phys. Lett., |
|
|
|||
149. |
J e n n i n g s |
T. A., |
W. |
12, |
25 (1968). |
|||
150. |
P e r s s o n |
K., /. Appl. |
Phys., 36, 3086 (1965). |
|
|
|||
151.M u s a l H., I. Appl. Phys., 37, 1935 (1966).
152.M u s a l H., частное сообщение, 1969.
153.L i g e n z a J. R., частное сообщение, 1969.
154.F r a n c i s G„ Ionization Phenomena in Gases, Butterworth, London and Washington, D. C., 1960.
155. |
E h l e r s |
K. |
W., |
пат. |
США |
3341352, |
|
1967; |
см. Chem. Abstr., |
67, |
111071 |
||||||||||
|
(1967). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
156. |
L o c k e r L. D., |
S ко 1n i c k |
L. P., |
Montreal |
Meet., |
Electrochem. Soc., |
1968, |
||||||||||||||
157. |
Extended abstr. Яг 483 |
(1968). |
|
|
|
L., |
J. Electrochem. |
Soc., |
117, |
945 |
|||||||||||
O l i v e |
G., |
P u l f r e y |
D. L., Y o u n g |
||||||||||||||||||
|
(1970). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
158. |
L e e W. L., |
Y an |
G., |
Y o u n g |
L„ |
неопубликованные данные, |
1968. |
|
|||||||||||||
159. |
R e v e s z |
A. |
G., |
|
J a i n i n g e r |
J., |
/. |
Amer. |
Ceram. Soc., |
16, |
606 |
(1963). |
|||||||||
160. |
T i b o l |
G. |
J., |
K a u f f m a n |
W. M., |
Proc. IEEE, |
52, 1465 |
(1964). |
|
|
|||||||||||
161. |
S k e 11 E. R., H 0w e 11 s G. M., Surface Sci., 7, 490 |
(1967). |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
162. |
W h i t l o c k |
W. |
S., B o u n d e n |
J. E., Proc. Phys. Soc., |
77, 845 |
(1961). |
|||||||||||||||
163. |
S t e v e |
Is |
J. M., |
J. Soc. Glass Technol., 34, 80 (1950). |
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
164. |
P u l f r e y |
D. |
L., |
W i l c o x |
P. |
S., |
Y o u n g |
L., I. Appl. |
|
Phys., |
40, |
3891 |
|||||||||
|
(1969). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Electrochem. Soc., |
|
|
|
|
|
|
||
165. |
A x e l r o d |
N. |
N., |
S c h w a r t z |
N.f |
/. |
116, |
460 |
(1969). |
||||||||||||
166. |
S m y t h |
D. |
М., |
S h i m G. |
A., |
T r i p p |
Т. В., |
/. Electrochem. |
Soc.t |
ПО, |
|||||
167. |
1271 |
(1963); |
111, |
1331 |
(1964); |
113, |
100 |
(1966). |
|
|
|
|
|||
Y ou n g |
L., |
Trans. Farad. Soc.t 55, 842 |
(1959). |
|
|
|
|
||||||||
168. |
S i l c o x |
N. |
W., |
Ma i |
s e e l |
L., |
/. |
Electrochem. |
Soc., |
109, 1151 |
(1962). |
||||
169. |
В го a d b e n t R. N., Electrochem. Technol., 6, 163 (1968). |
|
|
||||||||||||
170. |
P e e k em a |
R. |
M., |
B e e s |
l e y |
|
J. |
P., |
Electrochem. |
Technol., 6, |
166 |
||||
|
(1968). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
171.G o u d s w a a r d B., Electrochem. Technol., 6, 178 (1968).
172.W у n d r u m R. W., IEEE Int. Conv. Rec., 13, 90 (1965).
173. |
W i l l i a m s |
G., в книге: Molecular Relaxation Processes, ed. R. C. Cross, |
||||||||
174. |
Acad. Press, New York, 1966. |
|
|
|
C, 65, 23 (1961). |
|
|
|||
S c h i e b e r |
D. J., /. Res. Nat. Bur. Stand., Sect. |
4, |
411 |
|||||||
175. |
C h e r k i |
C., |
C o e h l o R., M a r i a n i |
J. L., |
Solid |
State Commun., |
||||
176. |
(1966) . |
|
|
|
(1955). |
|
|
|
|
|
Y ou n g L., Trans. Farad. Soc., 51, 1251 |
|
Solid Films, |
2, |
457 |
||||||
177. |
H a r r o p |
P. |
J., W o o d G. C., |
P e a r s o n |
C., Thin |
|||||
|
(1968). |
|
|
C., Phil. Mag., [8], |
|
|
|
|
||
178. |
M c F a r l a n e J. C., W e a v e r |
13, |
671 (1966). |
|
|
|||||
179.H a m o n B . V., Proc. IEEE, 99, 151 (1952).
180.В a i г d M. E., Rev. Mod. Phys., 40, 219 (1968).
181. |
C h e r k i С., С о e h 1о R., Phys. Status Solidi, 19, |
K91 |
(1961). |
182. |
C h e r k i C., M a r i a n i J. L., Rev. Gen. Elec., 75, |
769 |
(1966). |
183.L i n d m а у e г J., J. Appl. Phys., 36, 196 (1965).
184.S m y t h D. M., New York Meet., Electrochem. Soc., 1969.
185. |
W o o d |
G. |
C., |
B r o c k |
A. J., |
Nature (London), 209, |
773 (1966). |
|
|||||||||||||
186. |
S m y t h |
D. |
|
M., |
S h i r n |
G. A., /. |
Electrochem. Soc., |
115, |
186 (1968). |
||||||||||||
187. |
L eh о v e c |
K., /. Electrochem. Soc., 115, 520 (1968). |
|
42A, |
47 |
(1946); Ge* |
|||||||||||||||
188. |
G e v e r s |
M., |
du |
P r e |
F. K-, Trans. |
Farad. Soc., |
|||||||||||||||
189. |
v e r s M., Philips Res. Rep., 1, |
159, |
197, 279, 361, 447 |
(1945). |
|
|
|
||||||||||||||
G a r t o n |
G., Trans. Farad. Soc., 42A, 47 (1946). |
1969, |
J. |
Vac. Sci. |
Tech., |
||||||||||||||||
190. |
M a s s e r j i a n |
J., |
Proc. |
Int. Symp. Thin Films, |
|||||||||||||||||
191. |
6, 843 |
(1969). |
|
K., |
W a l l e y |
P. |
A., |
Proc. |
Int. |
Symp. |
Thin |
Films, |
1969, |
||||||||
J o n s c h e r |
|
A. |
|||||||||||||||||||
192. |
/. Vac. Sci., |
|
6, 662 (1969). |
|
|
|
32, 107 (1965). |
|
|
|
|
|
|||||||||
L a m b |
D. R., |
GEC (Gen. Elec. Co.) /., |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
193. |
J о n s c h e г A. K., /. Electrochem. Soc., |
116, 217C |
(1969). |
|
|
|
|
||||||||||||||
194. |
C h o p r a |
K. L., |
Thin Film Phenomena, Macmillan, New York, 1969; рус |
||||||||||||||||||
|
ский перевод: Ч о п р а |
К. Л., Электрические явления |
в тонких пленках, |
||||||||||||||||||
195. |
изд. «Мир», М., |
1972. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
H i l l |
R. М., |
Thin Solid Films, 1, 39 (1967). |
|
|
|
Soc., |
London, |
A301, |
|||||||||||||
196. |
S i m m o n s |
|
J. |
G., |
V e r d e r b e r |
R. |
R., Proc. Roy. |
||||||||||||||
|
77 (1967). |
|
T. W., Proc. Int. Symp. Thin Films, 1969, /. |
Vac. Sci. Tech., |
|||||||||||||||||
197. |
H i c k m o t t |
||||||||||||||||||||
198. |
6, 828 |
(1969). |
|
|
В. M., Jap. J. Appl. Phys., 7, 1542 |
(1968). |
|
||||||||||||||
P i n t o R., |
S h a n a |
|
|||||||||||||||||||
199. |
M o t t |
N. F., T w o s e W. D., Adv. Phys., 10, |
107 |
(1961); русский перевод: |
|||||||||||||||||
200. |
М о т т |
H., Т у з |
У., УФН, LXX1X, № 4, 691 (1963). |
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
Г у б а н о в |
|
А. И., Квантово-электронная теория аморфных полупровод |
|||||||||||||||||||
|
ников, М. — Л., изд. АН СССР, 1963. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
201. |
И о ф ф е |
А. Ф., |
Ре г е л ь |
А. Р., |
Progr. Semicond., |
4, 239 |
(1960). |
№ 30 |
|||||||||||||
202. |
H u b e r |
F., |
|
Dallas |
Meet. |
Electrodiem. |
Soc., |
1967, |
Extended |
abstr., |
|||||||||||
|
(1967) . |
|
|
|
|
|
|
|
|
И. Л., Электрохимия, 4, |
|
|
|
|
|||||||
203. |
О ш е |
E. К., |
Р о з е н ф е л ь д |
1081 |
(1968). |
|
|||||||||||||||
204. |
К у з н е ц о в а |
Е. Г., Б о р и с о в а |
Т. И., В е с е л о в с к и й |
В. И., Электро |
|||||||||||||||||
|
химия, 4, |
142 |
(1968). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
205.U 11 m а п F. G., /. Phys. Chem. Solids, 28, 279 (1967).
206.S i m m о n s J. G., Phys. Rev., 166, 912 (1968).
207.S i m m о n s J. G., Phys. Rev., 155, 657 (1967).
208.M а г к P., H а г t m a n T. E.f J. Appl. Phys., 39, 2163 (1968).
209. |
P u l f r e y |
D. |
L.f S h o u s h a |
A. |
H. |
M., |
Y o u n g L., J. Appl. |
Phys., |
41, |
||||||
|
2838 (1970). |
|
J. Electrochem. |
Soc., |
|
|
|
|
|
|
|||||
210. |
G o o d m a n |
A. M., |
115, 276C |
(1968). |
|
|
|
|
|||||||
211. |
M e a d |
C. A., |
S n o w |
E. H., D e a l |
В. E., Appl. Phys. Lett., 9, |
53 |
(1966). |
||||||||
212. |
H i с к m о 11 T. W., /. Appl. Phys., 35, 2679 (1964). |
|
|
|
|
|
|||||||||
213. |
К г u g e r G„ Electrochim, Acta, |
13, |
1389 |
(1968). |
|
|
|
|
|
||||||
214. |
K l e i n |
N., /. Electrochem. Soc., |
116, 963 |
(1970). |
|
|
|
J. |
Vac. |
||||||
215. |
F o r l a n i |
F., |
M i n n a j a N., |
Int. |
Symp. Proc. Thin |
Films, |
1969, |
||||||||
|
Sci. Tech., 6, 518 (1969). |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
216. |
K l e i n |
N., |
G a f n i |
H., IEEE |
Trans. Electron Devices, 13, |
281 |
(1966). |
||||||||
217. |
K e n n e d y |
D. R., E .R .A . Rep. L/T |
374, |
|
Lealherhead, |
England, |
1958. |
|
|||||||
218.O ’ D w y e r J. J., /. Electrochem. Soc.t 116, 239 (1969).
219.S z e S., /. Appl. Phys., 38, 2915 (1967).
220. O ’ D w y e r J. J., The theory of Dielectric Breakdown in Solids, Oxford Univ. Press, London and New York, 1964.
221.К 1 e i n N.. Adv. Electron. Phys., 26, 309 (1969).
222.С о о p e г R., Brit. J. Appl. Phys., 17, 149 (1966).
223. |
W o o d G. С., P e a r s о n C., Corros Sci., 7, 119 |
(1967). |
|
|
|||||||
224. |
Бельг. пат. 649202, Philips Res. Labs., 1964; CM. Chem. Abstr., 66, 43311 |
||||||||||
225. |
(1967) . |
R. |
S., |
V i j h A. |
K„ /. |
Electrochem. Soc., |
116, 388 |
(1969). |
|||
A l w i t t |
|||||||||||
226. |
S c h w a r t z |
N., |
G r e s h |
M., |
J. |
Electrochem. |
Soc., |
112, 296 (1965). |
|||
227. |
W i l s o n |
J. |
R., |
M a c D o n a l d |
I. |
A., A t k i n s o n |
J. |
T. N., |
Dallas Meet., |
||
Electrochem. Soc., 1967, Extended Abstr. № 48 (1967).
228.П л а т о н о в Ф. С., Сборник научных работ аспирантов и молодых спе циалистов, Петрозаводский унив., сер. Гуманит. и физич. науки, вып. 1, 1965 (1966).
229.П л а т о и о вФ. С., Изв. вузов, Физика, 10, 7 (1967).
230. |
О д и н е ц |
Л. Л., П л а т о н о в Ф. С., С а в и н а |
Г. М., Изв. |
вузов, |
Фи |
|||
231. |
зика, 10, 121 (1967). |
|
J. Appl. Phys., |
7, |
1491 |
|||
S a k u r a i |
Т., |
S u z u k i Т., N o g u c h i Y., Jap. |
||||||
232. |
(1968) . |
|
A., G r o s s |
E. P., J e 1 a t i s J. G., |
G e 11 e г M., |
Phys. Rev., |
||
v o n H i p p e 1 |
||||||||
233. |
91, 568 (1953). |
|
D. L., Brit. J. Appl. |
Phys. [2], 1, |
1581 |
(1968). |
||
В га d w e l l |
A., P u l f r e y |
|||||||
234.O ’ D w y e r J. J., J. Phys. Chem. Solids, 28, 1137 (1967).
235.S e i t z F., Phys. Rev., 76, 1378 (1949).
236. C o o p e r |
R.,E l l i o t t С. T., Brit. J. Appl. |
Phys., 17, 481 |
(1966). |
237. G u n d 1a |
ch К. H., S c h n u p pP., Z. Angew. |
Phys., 21, 468 |
(1966), |
РАЗМЕРНЫЕ ЭФФЕКТЫ В ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТИ ТОНКИХ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК И ПРОВОЛОК
Д . К. Л а р с о н
I.ВВЕДЕНИЕ
Вэтой главе рассматривается влияние размеров образца на электропроводность металла. Помимо обсуждения проводимости тонких пленок, опишем также процессы проводимости в тонких пластинках, проволоках и нитевидных монокристаллах (усах), поскольку эффекты, наблюдаемые в этих образцах, тесно свя заны с эффектами в тонких пленках. Влияние размеров образца становится заметным, когда они сравнимы с длиной свободного пробега электрона. С появлением сверхчистых материалов такие размерные эффекты оказалось возможным наблюдать в образ цах с минимальным размером порядка нескольких миллимет ров, однако наиболее ярко они проявляются в более тонких образцах. Размерные эффекты более резко выражены в чистых монокристаллических пленках, чем в неэпитаксиальных, разупорядоченных и грязных пленках, поскольку длина свободного пробега в первом случае гораздо больше.
По этой причине в данной главе делается упор на изучение эпитаксиальных монокристаллических пленок. Здесь не рас сматриваются пленки сплавов и многофазные пленки, находя щие важное применение в качестве резистивных элементов в электронике, и не обсуждаются эффекты явления проводимости
всверхтонких пленках, которые не являются сплошными, а
представляют собой совокупность более или менее изолирован ных металлических островков. Кроме того, мы не будем рас сматривать явления старения и отжига, а также эффекты, обус ловленные поверхностной адсорбцией или зарядкой поверхности (эффектом поля). Характеристики тонкопленочных резисторов разобраны в недавнем обзоре Майзеля [1], а электрические свойства разрывных пленок — в обзорах Нейгебауэра [2] и Нейгебауэра и Вильсона [3]. Более популярные обзоры электри ческих свойств металлических пленок были опубликованы Май ером [4] и Чопрой [5].
Размерные эффекты проявляются также при изучении тепло вых явлений переноса в тонких пленках и проволоках. Было