n = |
εox |
(V |
−V ). |
(1.19) |
|
||||
s |
|
g |
0 |
|
|
edox |
|
|
|
Длина свободного пробега электронов в 2DEG может быть очень большой (> 10 мкм).
Рис. 7 иллюстрирует образование 2DEG в гетероструктуре GaAl–AlGaAs: ввиду того, что ширина запрещенной зоны в AlGaAs больше, чем в GaAs, на границе двух полупроводников возникает скачок потенциала, а в приконтактной области – изгиб зон. При определенной степени легирования n-области на границе полупроводников возникает инверсионный слой.
|
Рис. 7. Зонная структура границы n-AlGaAs |
|
|
и собственного GaAs до (а) и после (b) |
|
. |
перераспределения заряда; реалистическая |
|
схема изгиба зон в гетероструктуре |
||
|
||
|
металл – p-AlxGa1-xAs – GaAs (с) |
На рис. 7, с дана реалистическая схема изгиба зон в гетероструктуре металл – p-AlxGa1-xAs – GaAs. Здесь 2DEG образуется в собственном GaAs на границе с p-AlGaAs, а на границе между полупроводником и металлическим электродом возникает барьер Шоттки.
Данные приложения 1 позволяют составить представление о численных значениях некоторых важных величин, характеризующих физические свойства двумерного электронного газа в инверсионных слоях в кремнии и в гетероструктурах GaAs-AlGaAs.
16
2.НЕКОТОРЫЕ СВОЙСТВА СИСТЕМ ПОНИЖЕННОЙ РАЗМЕРНОСТИ
Рассмотрим некоторые свойства систем пониженной размерности, которые необходимо знать для понимания физических явлений в мезоскопических структурах.
2.1. Волновые функции электронов в 2DEG
Найдем энергетический спектр и волновые функции стационарных состояний электронов в 2DEG в пренебрежении их взаимодействием друг с другом. Считая движение электронов вдоль поверхности раздела свободным (так что переменные в уравнении Шредингера разделяются), направим ось Оz прямоугольной декартовой системы координат в вдоль нормали к плоскости 2DEG и запишем волновую функцию электрона в виде произведения:
Ψ(r, z) = χ(z)ψ(r), |
(2.1) |
где ψ(r ) = exp{i pr
} , векторы p и r лежат в плоскости Oxy, а функция χ(z) удовлетворяет уравнению
∂2 |
χ(z) + |
2m |
(ε −eFz)χ(z) = 0. |
(2.2) |
|
∂2 z |
2 |
||||
|
|
|
Здесь ε = E − p2
2m и E − полная энергия электрона с эффек-
тивной массой m . Мы предположили, что потенциальная энергия электрона в 2DEG может быть аппроксимирована треугольным барьером (рис. 8):
|
∞, z < 0, |
(2.3) |
V (r, z) = |
|
|
eFz, z > 0. |
|
|
Замечая, что уравнение (2.2) задает собственный масштаб дли-
ны
lF = (2meF
2 )−1/3 ,
введем безразмерную переменную
ξ(z) = (z −ε
eF )
lF
изапишем его в стандартном виде:
17
χ/ / − ξχ = 0.
Как легко видеть, (безразмерные) расстояния в этом уравнении отсчитываются от классической точки поворота электрона на треугольном барьере. Его решение, удовлетворяющее граничным ус-
ловиям χ ξ(0) = 0, |
χ(ξ) |
|
|
→ 0, |
имеет вид |
|
|
|
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ξ→∞ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
(2.4) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
χ(ξ) = C Ai(ξ), |
|
|
|
|
|
|
||||||||
где С |
– постоянная, определяемая из соотношения нормировки: |
|||||||||||||||||||||||
∫∞ |
|
χ(z) |
2 |
dz =1, Ai(ξ) |
– функция Эйри: |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
3/2 |
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
exp(−2ξ |
|
3 ), ξ→∞, |
||||||
|
|
|
|
1 ∞ |
|
|
|
|
|
|
|
1/4 |
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
2ξ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
Ai (ξ) = |
|
|
cos(t |
|
3+t ξ)dt ≈ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
π ∫0 |
|
1 |
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
π |
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
ξ |
|
3 2 |
+ |
, ξ→− ∞. |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1/4 |
sin |
3 |
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| ξ| |
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|||
Рис. 8. Поведение зависящей от z компоненты волновой функции электрона, χ(z), в треугольном потенциальном барьере. Масштаб энергии соответствует GaAs при F = 5 МВ/м
Мы видим, что масштаб lF определяет и характер осцилляций волновой функции электрона в классически разрешенной области движения, и темп ее затухания вглубь полупроводника. Собственные значения энергии {εп} определяются из условия Ai (ξ) z=0 = 0 :
18
εn = ( 2e2 F 2
2m)1
3 ξn ,
где ξ1 ≈ 2,337 , ξ2 ≈ 4,088 , ...
Для постоянных {ξn} справедлива квазиклассическая формула:
|
3 |
|
1 |
2 3 |
||
ξn ≈ |
|
π n − |
|
|
при n >> 1, которая, однако, весьма точна и |
|
2 |
4 |
|||||
|
|
|
|
|||
при малых п. Например, при n = 1 получим квазиклассическую оценку ξ1 ≈ 2,338.
Каждому значению квантового числа п = 1, 2, 3... соответствуют подзоны свободного движения электрона в плоскости Oxy c за-
коном дисперсии
En,p = p2 + εn . 2m
Рис. 8 иллюстрирует характер локализации волновых функций электрона для n = 1, 2 и 3 вблизи поверхности GaAs.
2.2. Плотность состояний электронов в системах пониженной размерности
Плотность электронных состояний ν(ε) – это количество квантовых состояний электронов, приходящихся на единицу объема системы в единичном интервале энергий вблизи данной. Если Ω – (d-мерный) объем системы, {α} – полный набор квантовых чисел электрона, то
ν(ε) = |
1 |
∑δ(ε − Eα ). |
(2.5) |
Ω |
{α}
Как нетрудно видеть, ν(ε) ≡ dn(ε)
dε, где п(ε) – полное число
электронных состояний на единицу объема системы с энергией, не превосходящей ε.
Плотность состояний в 2DEG. Для этого случая {α} =
={n,σ,v, p} , где п – номер подзоны размерного квантования, σ –
спиновое квантовое число, v – номер долины электронного спектра полупроводника, p – двумерный импульс свободного движения
19
электрона в плоскости 2DEG. Предполагая спектр электрона вырожденным по проекции спина и номеру долины, получим
ν(ε) = |
gσgv |
∑∫d d p δ(ε − En,p ) = |
gσgv |
m |
∑θ(ε −εn ). (2.6) |
d |
2π |
2 |
|||
|
(2π ) |
n |
|
n |
Как мы видим, в двумерном случае плотность состояний электронов в пределах каждой подзоны не зависит от их энергии, так что ν(ε) представляет собой последовательность ступеней равной высоты, каждая из которых отвечает возможности заполнения соответствующей подзоны размерного квантования. При низких температурах ( kBT << EF ) в системе заполнены все состояния вплоть
до EF, и число электронов на единицу площади 2DEG линейно зависит от фермиевской энергии:
ns =N gσgvm EF +const, 2π 2
где N – число поперечных мод с εn < EF , а фермиевское волновое число зависит он номера подзоны:
k |
Fn |
= |
1 |
2m(E −ε |
). |
|
|||||
|
|
|
F n |
|
На рис. 9 представлен вид плотности состояний электронов в невзаимодействующем двумерном электронном газе.
Рис. 9. Зависимость плотности состояний электронов от энергии в невзаимодействующем 2DEG. На вставке: ход удерживающего потенциала в направлении поперек плоскости свободного движения. Дискретные уровни соответствуют дну первой и второй подзон размерного квантования электронного спектра
Плотность состояний в квази1D-проводнике. Если двумер-
ный электронный газ заперт в узкий канал (см., например, рис. 10, где проводящий квазиодномерный канал создан на основе 2DEG в
20