Материал: все лекции
Методы и средства измерений давления Электрические средства измерений давления
методы преобразования давления
тензорезистивный пьезорезистивный
|
|
|
|
|
емкостной |
|
резонансный |
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
индукционный |
|
ионнизационный |
||
|
|
|
|
|
Электронный образовательный ресурс: «Технические измерения и приборы» |
|
доцент, к.т.н. Цыпин А.В. |
201 |
|
Методы и средства измерений Методы и средства измерений давления
Тензорезистивные преобразователи давления
Принцип: измерение деформации тензорезисторов, сформированных
в эпитаксиальной пленке кремния
на подложке из сапфира (КНС), припаянной твердым припоем к
титановой мембране.
Под действием давления измеряемой среды мембрана с
тензорезисторами, соединенными в мостовую схему прогибается, тензорезисторы меняют свое сопротивление,
появляется разбаланс моста, который линейно зависит от
степени деформации резисторов и, следовательно, от
приложенного давления.
Электронный образовательный ресурс: «Технические измерения и приборы» |
|
доцент, к.т.н. Цыпин А.В. |
202 |
|
