|
|
|
|
|
|
|
|
25 |
|
3. Рассчитать напряжение, при котором наблюдается генерация для |
|||||||
суперкритически легированного диода. Оценить частоту генерации. |
|
|||||||
|
900 нс |
|
915 нс |
930 нс |
960 нс |
985 нс |
945 нс |
|
|
10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x , мкм |
|
/см |
0 |
|
|
|
|
|
|
|
0 |
2 |
4 |
6 |
8 |
10 |
12 |
14 |
|
кВ |
–5 |
|
|
|
|
|
|
|
E, |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
–10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
–15 |
|
|
|
|
|
|
|
|
–20 |
|
|
|
|
|
|
|
Рис. 5.5. Распределение напряженности поля в диоде Ганна в разные моменты времени
4. Ввести катодную затравку и проанализировать изменения процесса
генерации.
|
500 |
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
0,0 |
0,2 |
0,4 |
0,6 |
0,8 |
t, нс 1,0 |
|
–500 |
|
|
|
|
|
– 2 |
|
|
|
|
|
|
см |
–1000 |
|
|
|
|
|
А/ |
|
|
|
INAB(A) |
|
|
, |
|
|
|
|
|
|
нав –1500 |
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
||
J |
|
|
|
|
|
|
|
–2000 |
|
|
|
|
|
|
–2500 |
|
|
|
|
|
|
–3000 |
|
|
|
|
|
|
Рис. 5.6. Генерация в диоде Ганна при включении на перепад напряжения |
|||||
5.Рассчитать импеданс суперкритически легированного диода Ганна
взависимости от частоты и амплитуды внешнего напряжения.
26
6. Исследование лавинно-пролетного диода
Цель работы – исследование физических процессов, определяющих свойства одно- и двухпролетных лавинных диодов (ЛД).
6.1. Основные теоретические положения
ЛД СВЧ-диапазона используется в качестве активного элемента генераторов и усилителей. Деление прибора на область лавинной генерации и область дрейфа позволяет наглядно изучить влияние пролетных эффектов, что важно для понимания принципов работы многих СВЧ-приборов.
Принцип работы лавинно-пролетных диодов основан на возникновении отрицательного сопротивления в диапазоне сверхвысоких частот, которое обусловлено процессами лавинного умножения носителей и их пролета через полупроводниковую структуру. Появление отрицательного сопротивления связано с запаздыванием по времени этих процессов, что приводит к фазовому сдвигу между током и напряжением. Запаздывание лавинного процесса обусловлено конечным временем нарастания лавинного тока, а так называемое пролетное запаздывание происходит за счёт конечного времени прохождения носителями области дрейфа. Если суммарное время этих запаздываний оказывается равным полупериоду колебаний, то сопротивление диода на данной частоте становится отрицательным.
Основными представителями лавинно-пролетных диодов являются диод Рида (рис. 6.1), асимметричный резкий p– n-переход, симметричный p– n- переход (диод с двумя дрейфовыми областями), диод с двухслойной базой,
диод с трехслойой базой (модифицированный диод Рида) и p– i– n-диод. Поскольку коэффициент ударной ионизации сильно зависит от напря-
жённости электрического поля, процесс лавинного умножения носителей происходит в очень узкой области от 0 до xA, называемой областью лавинного умножения, в которой напряжённость поля имеет значение более 150 кВ. Слой за пределами этой области называется областью дрейфа.
Если область с концентрацией N2 отсутствует, то получается диод с рез-
ким асимметричным p– n-переходом (рис. 6.2). Если же отсутствует область с концентрацией N1, то диод Рида вырождается в p– i– n-диод.
27
в идеальном p– i– n-диоде занимает всю ши-
рину слоя собственной концентрации. В диодах Рида и p– n-переходах эта область очень узкая и расположена вблизи металлургической границы пере-
хода. В этом случае ширина области умножения xA определяется таким обра-
1020
3– 16
см 10
|N D N– A |,
1013
5 |
4 |
|
2 |
||
/смВ·10 |
||
|
3 |
|
E, |
1 |
|
|
||
|
0 |
|
4 |
8 |
|
·10 |
6 |
|
1 |
||
– |
|
|
, см |
4 |
|
<α> |
2 |
|
|
||
|
0 |
p+ |
n |
i |
n+ |
|
|
|
|
N1
N2
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
2 |
3 |
x, мкм |
|||||
W
|
|
|
|
|
|
|
|
0 b 1 |
2 |
3 |
x, мкм |
||||
|
|
|
|
|
|
|
1 |
2 |
3 |
x, мкм |
|||
Рис. 6.1. Распределение примесей и напряжённости электрического поля при пробое в p+– n– i– n+-диоде Рида
зом, чтобы при интегрировании эффективного коэффициента ионизации от 0
до xA получить не менее 95 %:
xA
∫
α
dx = 0,95 ,
0
а для диода Рида, диода с двухслойной базой, асимметричного резкого
28
p+– n-перехода и симметричных p– n-переходов при пробое
xA
2
∫
α
dx = 0,95.
−xA
2
совпадает с обеднённой областью, за исключением слоя лавинного умножения носителей, т.е. xA ≤ xd ≤ W . Время пролета области дрейфа определяется скоростью дрейфа, которая определяется достаточно большой напряжённостью электрического поля и называется скоростью на-
сыщения vs. В кремнии значение напряжённости электрического поля должно превышать 104 В/см, в арсениде галлия – 10 3 В/см.
– 3 |
|
|
|
см |
10 |
20 |
|
, |
|||
|
|||
Концентрация |
1016 |
||
|
|||
5 |
4 |
||
см·10 |
3 |
||
|
|||
В/ |
2 |
||
E, |
1 |
||
|
|||
|
0 |
||
4 |
|
|
|
·10 |
8 |
||
– 1 |
|
|
|
,см |
6 |
||
|
|||
<α> |
4 |
||
2 |
|||
|
|||
|
0 |
||
|
|
p+ |
|
|
|
|
n |
|
|
n+ |
|
3 |
|
|
|
p+ |
|
p |
|
|
|
n |
|
|
n+ |
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
– |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, см |
1020 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
p+ |
|
|
|
|
|
|
|
|
n+ |
Концентрация |
|
|
|
p |
+ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
+ |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|||
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
p |
|
|
|
n |
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1016 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
1 |
2 |
3 |
x, мкм |
|
|
|
|
|
0 |
1 |
|
2 |
3 x, мкм |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
5 |
4 |
|
|
|
|
|
+ |
|
|
– |
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
см·10 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
|
+ |
|
|
|
|
|
– |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
/ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E, В |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
1 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
xA |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
—W/2 |
|
|
|
|
|
|
|
W/2 |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x, мкм |
|
|
0 |
1 |
2 |
3 |
x, мкм |
|
|
|
|
|
|
—xA/2 |
|
xA/2 |
|
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
·10 |
8 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
– 1 |
6 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
, см |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
<α> |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
1 |
2 |
3 |
x, мкм |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
|
|
x, мкм |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
Рис. 6.2. Распределение примесей, напряжённости электрического поля и эффективного коэффициента ионизации в диоде с резким
p+– n-переходом и в p+– p– n– n+-диоде с симметричным резким p– n-переходом (диод с двумя дрейфовыми областями – двухпролётный ЛПД)
29
Поскольку в диоде Рида минимальная напряжённость электрического поля в области дрейфа имеет вид
E |
|
= E − |
q |
[N b + N (W − b)], |
|
min |
ε0 |
||||
|
m |
1 2 |
|||
|
|
|
|
параметры диода Рида должны определяться из условия Emin > Es, соответст-
вующего скорости vs.
В резких p– n-переходах всегда существуют области, в которых напряжённость электрического поля меньше необходимой для пробоя. Однако отношение ширины такой области с напряжённостью меньше 104 В/см в крем-
ниевом p+– n-переходе с концентрацией примеси 1016 см–3 к полной ширине обеднённой области, в начале которой напряжённость поля равна в данном случае 4·105 В/см, составляет всего 104/4·105 = 2,5 %. Поэтому существование областей слабого поля практически не сказывается на времени пролета носителей через обеднённую область.
6.1.1 Динамические характеристики
Предположим, что импульс тока проводимости инжектируется при x = 0 с фазовым углом ϕ по отношению к полному току, а приложенное к диоду постоянное смещение таково, что инжектированные носители заряда пролетают область дрейфа со скоростью насыщения vs. Плотность переменного тока проводимости Jc при x = 0 равна полной плотности тока J со сдвигом по фазе
J0c = Jc(0) = J exp(− iϕ).
В произвольной точке области дрейфа полный переменный ток равен сумме тока проводимости и тока смещения:
J(x) = Jc(x) + Jd (x) = J0ce−iωx
vs + iωεsE(x),
где E(x) – переменная составляющая напряжённости электрического поля. Учитывая два предыдущих выражения, получаем
E(x) = J(1 − e−iωx
vs −iϕ ).
Значение импеданса диода получим путём интегрирования