Материал: Экспериментальные методы исследований. Калинин Ю.Е
специальной конструкции, где роль зонда выполняет стальной шарик малого диаметра (2 мм), катящийся по поверхности образца и имеющий с ней малую площадь соприкосновения.
1.3.6. Измерение электрической проводимости пластин произвольной геометрической формы
Удельную электрическую проводимость образцов правильной геометрической формы, как отмечалось, можно определить, лишь вводя функции поправок, учитывающие геометрические размеры образца. В общем случае для пластины произвольной геометрической формы определение удельной электрической проводимости также возможно, если использовать видоизмененный четырехзондовый метод измерения. В этом методе вдоль периметра плоской пластины размещают четыре контакта 1, 2, 3 и 4 (рис. 1.22). Сначала, пропуская ток через контакты 1 и 2 и измеряя разность потенциалов на зондах 3 и 4, определяют сопротивление R1,2 = U34/I12, затем при протекании тока между контактами 1 и 4 по падению напряжения на зондах 2 и 3 определяют сопротивление R1,4 = U23/I14. Эти два измерения позволяют найти удельное электрическое сопротивление пластины по формуле:
|
R1,2 |
R1,4 |
|
|
|
|
4,53 |
|
|
f R1,2 / R1,4 d , |
(1.56) |
|
|
2 |
|||
|
|
|
|
||
где f R1,2 |
/ R1,4 - теоретически вычисленная корректирующая |
||||
функция. Значение этой функции в зависимости от R1,2 |
/ R1,4 |
||||
приведено на рис. 1.23. Видно, что f R1,2 / R1,4 1 при 0,7 < |
|||||
R1,2 / R1,4 |
< 1,5. Как видно из уравнения (1.56) в расчетную |
||||
формулу не входят расстояния между зондами. В формулах фигурируют величины, которые можно измерить с большой точностью.
61
U3
U4
3
4 
1 |
2 -I |
|
I
Рис. 1.22. Схема расположения контактов в методе Ван-дер-Пау
Изложенный модифицированный четырехзондовый метод измерения проводимости пластин произвольной формы можно применить и для определения круглых, квадратных и прямоугольных пластин. При симметричном расположении измерительных контактов на периферии пластины в случае однородности пластины по электропроводности сопротивления R1 и R2 будут одинаковы: R1 = R2 = R, а функция f R1 / R 2
4,53dR 4,53d |
U |
. |
(1.57) |
|
|||
|
I |
|
|
Модифицированный четырехзондовый метод позволяет измерять удельное электрическое сопротивление тонких пластин и слоев с точностью 1-2 %.
Погрешность измерений возрастает, если контакт занимает на боковой поверхности некоторую протяженную область или расположен не только на боковой поверхности, но и частично на поверхности пластины. Поэтому в качестве контактов обычно используют пластинчатые контактные ножи, которые прижимают к боковой поверхности пластины и создают с нею контакт в виде узкой линии.
На основе рассмотренного метода создают автоматические устройства для разбраковки пластин на группы по величине удельного электрического сопротивления.
62
f(R1,2/R1,4)
0,8
0,6
0,4
0,2
1 |
2 |
5 |
10 |
2 |
5 |
102 |
2 |
5 103 |
R1,2/R1,4
Рис. 1.23. График функции поправок при измерении образцов произвольной геометрической формы
1.3.7. Высокочастотные бесконтактные методы измерения удельного электрического сопротивления
Широко распространенные зондовые методы измерения электрических параметров, пригодные для монокристаллического материала, не подходят для поликристаллических образцов, жидких полупроводников и т.д. Кроме того, зондовым методам присущи недостатки, связанные с инжекцией носителей заряда и возникновением в зоне контактов больших потенциальных барьеров, которые создают побочные эффекты и искажают результаты измерений.
Важным направлением при разработке новых методов контроля является использование токов ВЧ и СВЧ. Особенности распространения электромагнитных волн ВЧ и СВЧ в проводящей среде легли в основу бесконтактных методов измере-
63
ния электрофизических параметров полупроводников и металлов. При этом возможны два пути.
В первом случае контролируемый образец полупроводника можно помещать в катушку индуктивности, внутри которой создается высокочастотное переменное поле, вызывающее возникновение в образце вихревых токов.
Во втором - образец полупроводника можно вводить в
цепь колебательного контура, присоединенного к генератору токов ВЧ, применяя емкостную связь соответствующих элементов контура с образцом. Исследования показали, что для контроля свойств низкоомного материала целесообразно производить измерения с индуцированием токов ВЧ в образце, а для высокоомного материала особенно пригодны схемы с емкостной связью.
Кроме метода колебательного контура с последовательным или параллельным присоединением образца широко применяются мостовые схемы. При измерениях по методу моста цилиндрический образец полупроводника введен с помощью емкостной связи в одно из плеч моста, питаемого от генератора токов высокой частоты. Схема такого моста и эквивалентная ей электрическая схема приведены на рис. 1.24. Изменяя значения С и R в другом плече моста, добиваются компенсации, и в этих условиях величина сопротивления образца Rп/п будет равна сопротивлению R.
При измерениях удельного электрического сопротивления бесконтактным методом сильно легированных полупроводников используют специальный датчик (рис. 1.25), состоящий из ферритового торроида 1 с обмоткой 2. Торроид имеет зазор шириной L. В зазоре и в прилегающем пространстве происходит концентрация высокочастотного магнитного поля. Напряженность этого поля довольно быстро убывает по мере удаления от зазора. Сам зазор обычно рассматривают как магнитный диполь. Ширина зазора примерно соответствует межзондовому расстоянию.
64
В зазор помещают пластину 4 из меди, покрытой серебром. Она вытесняет высокочастотное поле из зазора, значительно повышая его концентрацию. Кроме того, присутствие пластинки приводит к ещё большему снижению напряженности поля с расстоянием, т.к. наведенные в ней токи эквивалентны другому магнитному диполю, ориентированному противоположно первоначальному, т.е. ширина суммарного диполя будет значительно меньше, чем в отсутствие пластинки, и в первом приближении её можно отождествить с величиной ℓ = L – δ, где δ – толщина проводящей пластинки.
При замыкании зазора поверхностью образца изменяется добротность датчика. Величина изменения добротности Q зависит от удельного электрического сопротивления образца и определяется экспериментальным путем. Для этого пользуются стандартным Q-метром. Образцы для градуировки датчиков представляют собой диски из монокристаллов кремния или германия. Точность описываемого метода в значительной степени зависит от точности градуировки и погрешность измерений составляет около 10 %.
|
|
|
С |
R |
Rп/п |
Ск/2 |
R |
|
|
Рис. 1.24. Схема измерительного моста (а) и эквивалентная ей схема (б) для определения удельного электрического сопротивления
65