10
В данном примере система автоматически создала 207 узлов и 360 треугольников. Если полученное разбиение окажется неудовлетворительным с точки зрения точности результата, степень дискретизации можно увеличить с помощью команды Mesh | Refine Mesh (кнопка с четырьмя маленькими треугольниками либо комбинация клавиш – Ctrl+I).
11
Решение задачи на построенной таким образом сетке с заданными граничными условиями производится командой Solve | Solve PDE при нажатии кнопки с изображением знака “=”, либо комбинации клавиш Ctrl+E.
Найденное решение отображается в окне среды PDE Toolbox.
1.3.Порядок выполнения работы
1.По заданию, выданному преподавателем, построить сеточную и расчётную области для определения диффузионного профиля.
2.Задать граничные условия.
3.Произвести триангуляцию области и расчёт для различных триангуляций и сравнить полученные результаты.
4.Изобразить двумерный график профиля легирования.
5.Построить трёхмерный график зависимости концентрации от координат x и y.
1.4.Содержание отчёта
1.Программы для расчёта формы крышек, создающих простые, с точки зрения их аналитического представления, поля в декартовой и цилиндрической системах координат.
2.Графики эквипотенциальных линий.
3.Трехмерные графики зависимостей концентрации в координатах xy.
4.Зависимости точности решения от количества треугольников.
12
2. Исследование карбидокремниевого полупроводникового диода
Цель работы – исследование основных физических процессов, определяющих вольт-амперную характеристику (ВАХ) карбидокремниевого диода и процесс его восстановления, а также моделирование методики измерения времени жизни носителей заряда.
2.1. Основные теоретические положения
Карбидокремниевая силовая электроника интенсивно развивается. Наиболее привлекают такие свойства карбида кремния, как высокая напряжён-
ность |
электрического поля, при которой наступает |
лавинный пробой |
(2…5 |
МВ/см ), высокая теплопроводность (3…5 Вт · см–1 |
· К–1 ) (почти как у |
Cu), высокое значение скорости электронов в сильных электрических полях (2·107 см/с). Уже созданы силовые диоды, транзисторы, тиристоры, которые демонстрируют значительное превосходство над приборами из Si и GaAs по таким важным параметрам, как прямое падение напряжения при высоких плотностях токов, высокая рабочая температура, высокая скорость переключения.
2.2.Программа работы и указания по ее выполнению
1.По заданию, выданному преподавателем, построить профиль леги-
рования силового диода со структурой p+– n– n+ из карбида кремния.
2.Рассчитать прямую ветвь ВАХ диода, включив все эффекты сильного легирования, инжекции и неполной ионизации акцепторной примеси в p+-эмиттере.
3.Определить ток насыщения и построить на том же графике ВАХ идеального диода.
4.Включая и отключая вышеуказанные эффекты, построить ряд ВАХ
исравнить их с ВАХ, в которой учтены все эффекты. Проанализировать их влияние на ВАХ.
5.Выбрать на ВАХ значение тока, соответствующего среднему уровню инжекции, и рассчитать изменения напряжения и тока диода при воздействии прямого импульса от генератора тока (рис. П1,а). Амплитуда тока в импульсе при этом должна соответствовать выбранному из ВАХ значению.
13
По наклону спада импульса напряжения оценить время жизни носителей заряда в базе диода.
6. Выбрать на ВАХ значение напряжения, соответствующего среднему уровню инжекции, и рассчитать изменения напряжения и тока диода при воздействии прямого импульса от генератора напряжения (рис. П1,б). Амплитуда напряжения в импульсе должна соответствовать выбранному из ВАХ значению. По длительности “ плато” импульса тока после момента переключения напряжения оценить время жизни носителей заряда в базе диода.
3.Исследование биполярного транзистора
всхеме с общей базой
Цель работы – исследование основных физических эффектов, определяющих процессы переноса носителей заряда в биполярном транзисторе (БТ) (сужение запрещённой зоны в сильнолегированных областях, рекомбинация Шокли– Рида– Холла, Оже-рекомбинация, эффекты Эрли и Кирка, влияние
+ |
|
IE |
|
|
|
|
IC |
|
– |
|
|
|
|
IC |
|
– |
|
|
|
IE |
+ |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
– |
IB |
|
|
|
|
|
– |
IB |
|
|
|
|||
VEB |
|
|
|
|
|
|
|
|
VCB |
|
|
|
VCE |
|
VEC |
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
VBE |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
IB |
|
|
IE |
|
|
|
|
|
VBC |
|
IC |
||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
– |
|
|
|
|
|
|
|
|
+ |
+ |
|
|
|
|
|
|
+ |
+ |
|
|
|
|
– |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
a |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
б |
|
|
|
|
в |
|||
|
|
|
|
|
|
Рис. 3.1. Схемы включения p—n—p-транзистора: |
|
|
|
|||||||||||||||||
а – |
с общей базой; б – |
с общим эмиттером; в – |
с общим коллектором |
|||||||||||||||||||||||
пассивного сопротивления базы), их влияние на статические и переходные характеристики транзистора.
3.1. Основные теоретические положения
При анализе процессов в БТ, включённом по схеме с общей базой, удобно рассматривать БТ, условно состоящим из двух частей: инжектирующей – перехода “ эмиттер – база” и перехода “ база – коллектор”, где происходит взаимодействие инжектированных носителей заряда с электрическим полем.
Статические характеристики транзистора можно получить из теории p– n-перехода. Будем считать, что ВАХ эмиттерного и коллекторного переходов подчиняются уравнениям идеального диода, т. е. можно пренебречь эффек-
14
тами, обусловленными поверхностной рекомбинацией-генерацией, последовательным сопротивлением и высоким уровнем инжекции.
При условии, что весь потенциал падает на обеднённой области p– n- перехода (рис. 3.2, б), из уравнения непрерывности и уравнения для плотно-
|
|
|
Эмиттер |
|
|
|
База |
|
|
|
|
|
|
Коллектор |
||||||||||||
|
|
IE |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
IC |
||||
|
|
|
|
IpE |
|
|
|
|
|
|
|
|
IpC |
|
|
|
|
|||||||||
Вход |
|
|
|
p |
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
p |
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
InE |
|
|
|
|
|
|
|
|
InC |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
~ |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Выход |
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
IB |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
VEB |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
VCB |
|
|
|
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
a |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
N |
+ |
− N |
− WE |
|
|
|
|
WB |
|
|
WC |
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||||
|
D |
|
A |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
xE |
|
|
|
|
|
|
|
xC |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
0 |
|
|
W |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
x |
||||
б
EC
EV
VEB |
VCB |
|
в
Рис. 3.2. Биполярный транзистор p– n– p-типа, включённый по схеме с общей базой (а), профиль легирования транзистора со ступенчатым распределением примесей (б)
и зонная диаграмма при нормальной работе (в)
сти токов определяются равновесные характеристики. Для нейтральной области базы уравнения имеют вид
0 = − |
p − pB |
+ D ∂2p |
; |
(3.1) |
||||||
|
||||||||||
|
|
|
|
|
τB |
|
B ∂x2 |
|
|
|
|
|
J |
|
|
= −qD ∂p ; |
|
(3.2) |
|||
|
|
|
p |
|
|
|
B ∂x |
|
|
|
J |
|
= J |
|
+ qD ∂p , |
|
(3.3) |
||||
|
n |
|
|
|
|
tot |
|
B ∂x |
|
|
где рB – равновесная плотность неосновных носителей в базе; Jtot – |
полная |
|||||||||