Рассмотрим схему, представленную на рис. 2.6. Основная особенность образца для измерения тока Холла заключается в том, что один из токовых контактов выполняют в виде двух равных половинок 2 и 3, разделенных узким зазором. В отсутствие магнитного поля через образец протекает ток от источника питания ИТ. Если R1 = R2, контакты 2 и 3 эквипотенциальны и ток через гальванометр G отсутствует. При наличии тока через гальванометр переменные сопротивления R1 и R2 позволяют довести его до нулевого значения. Чтобы весь ток Холла протекал через гальванометр и измерялся им, электрическое сопротивление гальванометра должно быть много меньше, чем сопротивление R1 и R2. При соблюдении этих требований, если включить магнитное поле, гальванометр покажет ток, равный 0,5 Iу. Такой же по величине ток потечет вдоль контакта 1.
В |
|
|
|
1 |
|
2 |
3 |
ИТ |
|
G |
Ix |
R1 |
R2 |
А |
Рис. 2.6. Схема для измерения тока Холла
На образцах с низким удельным сопротивлением выполнить первое из указанных условий затруднительно, а иногда практически невозможно. Поэтому при измерениях на низкоомных образцах в измерительную схему дополнительно включают гальванометр с источником питания. При включенном магнитном поле ток гальванометра G доводится до нулевого значения за счет увеличения тока в цепи дополнительного гальванометра. При нулевом токе гальванометра G контакты 1
86
и 2 образца эквипотенциальны, а через дополнительный гальванометр протекает ток 0,5Iу.
Используя специальную форму контакта – охранное кольцо (рис. 2.7), можно не измерять ток Холла, текущий в поверхностном слое, а производить измерение только объемной составляющей тока Холла. Условием точных измерений является эквипотенциальность контактов 2, 3 и охранного кольца. Выполнение этого требования обеспечивается, если сопротивление прибора А2 много меньше сопротивления между охранным кольцом и контактами 2 и 3. При этом расстояние между контактами и охранным кольцом, так же как расстояние между контактами 2 и 3 должно быть достаточно малым (много меньше размеров а и в), чтобы электрическое поле в образце можно было считать однородным.
Измерение эффекта Холла (тока Холла) по сравнению с измерением э.д.с. Холла имеет преимущества при использовании высокоомных образцов, т.к. не требует высокоомной измерительной схемы. Основное ограничение метода связано с необходимостью использования омических контактов.
|
В |
|
|
|
|
|
1 |
О |
2 |
|
3 |
|
|
||
|
|
G |
ИТ |
|
А1 |
|
|
|
|
А2 |
R1 R2
Рис. 2.7. Схема для измерения объемной составляющей тока Холла
87
2.4. Определение параметров полупроводников из измерений эффекта Холла
2.4.1.Определение концентрации донорных
иакцепторных примесей по измерению эффекта Холла
На практике концентрацию доноров и акцепторов по измерениям эффекта Холла определяют следующим образом. В области комнатных температур все примеси в широкозонных полупроводниках, создающие мелкие уровни, полностью ионизированы. В примесном полупроводнике (возьмем для определенности полупроводник электронной проводимости) концентрация электронов определяется соотношением
n = Nd – Na , |
(2.25) |
где Nd и Na – концентрация донорных и акцепторных уровней. Образец называется компенсированным, если концен-
трации доноров и акцепторов приблизительно равны. Фактор компенсации «К» определим из соотношения (в полупроводнике n-типа)
К = Na / Nd . |
(2.26) |
Компенсация связана с недостаточной очисткой исходных материалов. Компенсированные полупроводники имеют худшие свойства при использовании их в полупроводниковых приборах. Поэтому раздельное определение доноров и акцепторов и нахождение фактора компенсации представляет важную задачу.
В области низких температур не все доноры в полупроводнике ионизированы. Пусть nd – количество неионизированных доноров. Тогда Nd – nd – количество ионизированных доноров. Предположим, что концентрация Nd > Na. Тогда, очевидно, все акцепторы ионизированы, т.е. имеют отрицательный заряд.
88
Условия электронейтральности в этом случае
n + Nа = Nd – nd , |
(2.27) |
где n – концентрация электронов. Отсюда концентрация электронов на донорах
nd = Nd - Nа - n . |
(2.28) |
Кроме того, при термодинамическом равновесии количество переходов с донорных уровней в зону проводимости равняется количеству обратных переходов из зоны проводимости на донорные уровни. Если Сn – вероятность захвата электрона, а Сn n1 – вероятность теплового выброса, то величина u = Сn n (Nd–nd) характеризует суммарную скорость захвата электронов на заряженные донорные уровни, а величина Сnndn1 - суммарную скорость тепловых переходов в зону проводимо-
сти. |
|
Величина |
|
|
|
|
|
n1 |
определяется |
соотношением |
||||||||||
|
|
|
|
|
|
E |
d |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
N |
|
exp |
|
|
|
. Приравнивая скорость захвата и выброса |
||||||||||||
1 |
c |
|
|
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Сn n(Nd – nd) = Сn nd n1; |
|
||||||||
получим |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
nd |
|
|
n |
|
|
Nd |
nd . |
(2.29) |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
n1 |
|
|
|
|||
Подставляя nd в (2.28), получим |
|
|||||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
Nd Nd Na n ; |
|
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n n1 |
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||
или |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
nNd |
|
n n1; |
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N |
|
|
|
|
|
|
||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
d |
Na n |
|
||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
89
|
|
|
|
|
|
|
|
|
nNd |
|
|
|
|
n n1 ; |
|
|
|
|
||||||||
|
|
|
|
|
N |
d |
Na n |
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||
nNd nNd N |
a |
n n2 |
|
|
|
|
|
|
|
E |
d |
|
||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
N |
c |
exp |
|
|
; |
|||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||
|
N |
|
N |
a |
n |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
kT |
|||||||||||
|
d |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||
|
n(Na n) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
E |
d |
|
|
|
|
||||||||||
|
|
|
N |
c |
exp |
|
|
. |
(2.30) |
|||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|||||||||||||||||||||
|
N |
|
|
N |
a |
n |
|
|
|
|
kT |
|
|
|
|
|||||||||||
|
d |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|||||
При низких температурах концентрация электронов уменьшается, и мы можем в знаменателе выражения (2.30) пренебречь величиной «n» по сравнению с Nd, тогда
|
N |
d |
- Na |
|
|
E |
d |
|
|
n |
|
|
N |
exp |
|
. |
|||
|
|
|
|
|
|||||
|
N |
a |
n |
c |
|
kT |
|||
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Рассмотрим два случая:
1) полупроводник некомпенсированный Na << n
n |
N |
d |
|
|
|
E |
d |
|
|
NC |
exp |
|
, |
||||
|
|
|
|
|||||
|
n |
|
|
kT |
||||
т.е.
|
|
|
|
|
E |
d |
|
|
||
n2 Nd Nc exp |
|
|
|
, |
||||||
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
kT |
|
||||
откуда получаем |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
n |
|
|
|
|
|
E |
d |
|
||
|
|
|
||||||||
Nd Nc |
exp |
|
|
|
. |
|||||
|
|
|
|
|||||||
|
|
|
|
|
|
2kT |
||||
(2.31)
(2.32)
(2.33)
90