Материал: Экспериментальные методы исследований. Калинин Ю.Е

щий поток, IB (E, Z ) – возбуждающий поток, вызванный рассеянными первичными электронами. Тогда можно написать:

I (WXY ) I pTN (WXY ) (E, EW ) (1 RB ) , (11.7)

где RB – коэффициент обратного рассеяния, а Т – пропускание анализатора.

Чтобы проводить количественный анализ на основе формулы (11.7), необходимо знать с требуемой точностью сечение ионизации, выход Оже-электронов и коэффициент обратного рассеяния. Кроме того, нужно точно измерить абсолютные значения тока Оже-электронов. Анализ усложняется и шероховатостью поверхности, которая обычно уменьшает выход Оже-электронов по сравнению с гладкой поверхностью. Поскольку все эти требования нельзя выполнить в условиях обычного лабораторного Оже-анализа, количественный анализ, основанный на теоретическом определении физических величин, пока что практически невозможен. Тем не менее, существует ряд методов, которые делают возможным количественный анализ методом ЭОС.

1. Метод внешних эталонов.

В этом методе Оже-спектры исследуемого образца сравнивают со спектрами эталона, содержащего интересующий элемент с известной концентрацией. Концентрацию эле-

мента α в исследуемом образце N P можно определить по концентрации этого элемента в эталоне N S , пользуясь формулой

(11.7):

511

Важным преимуществом такого метода является то, что не нужно знать сечение ионизации и выход Оже-электронов, т.е. все сводится к относительным измерениям. Если состав исследуемого образца близок к составу эталона, то глубина выхода и коэффициент обратного рассеяния выпадают из формулы (11.8), и все сводится к измерению отношения токов. Очевидно, что все сказанное справедливо, если измерения с исследуемым и эталонным образцами проводятся в одинаковых условиях.

Если образец и эталон различаются по составу, то нужно по возможности более точно учесть влияние матрицы на коэффициент обратного рассеяния и на глубину выхода. Кроме того, если из-за различий в матрице изменится форма Ожепика, то высота Оже-пика в дифференцированном Оже-спектре не может служить точной относительной мерой Оже-тока.

Коэффициент обратного рассеяния можно оценить, сравнив кривые зависимости выхода Оже-электронов от Ep с теоретическими зависимостями сечения ионизации от Ep или с данными, характеризующими выход Оже-электронов в зависимости от Ep для газов, ибо в случае газов коэффициент обратного рассеяния пренебрежимо мал. Коэффициент обратного рассеяния увеличивается с ростом плотности матрицы и энергии первичных электронов. При наличии данных о коэффициенте обратного рассеяния в форме RB(Ep,Ew,D), где D – массовая плотность матрицы, можно обеспечить достаточную точность для количественного анализа.

2. Метод коэффициентов элементной чувствительности.

Менее точным, но весьма ценным методом количественного анализа является метод, основанный на введении коэффициентов элементной чувствительности. Полагая, что для каждого элемента можно ввести определенный коэффициент чувствительности, атомную концентрацию элемента Х записывают в виде:

512

где Sα, Sx – коэффициенты относительной чувствительности к элементу α и x, соответственно. Очевидно, что, вводя коэффициенты чувствительности, не зависящие от матрицы, мы пренебрегаем изменением обратного рассеяния и глубины выхода в зависимости от материала, и, следовательно, метод, в общем, является полуколичественным. Два важных преимущества такого метода – отсутствие эталонов и нечувствительность к шероховатости поверхности. Последнее объясняется тем, что все Оже-пики одинаковым образом зависят от топографии поверхности.

3. Метод учета коэффициентов выхода.

Интенсивность линии интересующего элемента в этом методе относится не к суммарной интенсивности всех линий, наблюдаемых в Оже-спектре, а к интенсивности линии эталона. Для каждого элемента можно ввести определенный коэффициент выхода D (зависящий от энергии первичного пучка и от матрицы). Коэффициентом выхода называется количество эмитированных Оже-электронов в расчете на один первичный электрон. Атомная концентрация элемента Х рассчитывается путем сравнения интенсивности его линии Iх с интенсивностью линии эталона Iet, измеренной в тех же условиях:

где Dх и Det – коэффициенты выхода Оже-электронов для исследуемого и эталона, соответственно. В качестве эталона в методе ЭОС обычно используется серебро (линия MVV, Em = 354 eV). Значения коэффициентов выхода для каждого элемен-

513

та для разных значений Ep (энергии первичного пучка) приведены в справочниках.

11.2. Другие методы электронной спектроскопии

В заключение изложения физических основ метода Ожеспектроскопии и его практического применения кратко рассмотрим основные характеристики распространенных методов электронной спектроскопии для диагностики поверхности и приповерхностных слоев (табл. 11.2).

11.2.1. Метод фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС)

В основе метода фотоэлектронной спектроскопии лежит явление внешнего фотоэффекта – испускание электронов ато мами вещества под действием рентгеновского или ультрафиолетового электромагнитного излучения. Соответственно этому, различают рентгеновскую фотоэлектронную спектроскопию (РФЭС) и ультрафиолетовую фотоэлектронную спектроскопию (УФС). Энергия фотоэлектронов зависит от энергии электронных оболочек (термов), с которых они были испущены, поэтому спектр фотоэлектронов характеристичен для атомов каждого химического элемента, что и делает возможным применение методов фотоэлектронной спектроскопии для диагностики химического состава, т.е. анализа. Основными достоинствами метода РФЭС по сравнению с ЭОС являются более высокая разрешающая способность. Метод РФЭС в наши дни хорошо развит и широко применяется обычно для выяснения химического состояния компонентов твердого тела и адсорбатов. За развитие метода РФЭС К.М Зигбану в 1981 была присуждена Нобелевская премия в физике.

514

Таблица 11.2 Некоторые характеристики методов РФЭС, УФС и ЭОС

515