Материал: Экспериментальные методы исследований. Калинин Ю.Е

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

В связи с развитием микро и наноэлектроники – бурно развивающихся отраслей, возрастает роль методов контроля физических параметров материалов электронной техники и приборных структур на их основе. В настоящее время существует два пути развития наноэлектроники – переход к наноэлектронике от микроэлектроники за счет уменьшения размеров элементов интегральных схем до нанометрового масштаба – «подход сверху вниз» и за счет использования молекул и биологических объектов, которые ведут к молекулярной и биоэлектронике – «подход снизу вверх». Наиболее перспективным путем развития считается комбинация молекулярных и биологических объектов с традиционной микроэлектронной техникой. Поэтому дальнейшее развитие экспериментальных методов измерений требует как совершенствование уже существующих, так и разработку принципиально новых методик, основанных на новых физических принципах. При этом важное значение будет иметь автоматизация процесса измерения путем применения ЭВМ, сопряженных с измерительными приборами или встроенных в них.

Другим перспективным направлением экспериментальных методов исследований материалов и твердотельных структур является разработка комплексного измерительного оборудования, включающего несколько методик измерения и анализа полученных результатов. Такой подход позволит освоить массовый выпуск измерительного и аналитического оборудования, предназначенного для различных отраслей народного зозяйства.

523

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1.Кунце, Х.И. Методы физических измерений [Текст] /

Х.И. Кунце. – М.: Мир, 1989. – 216 с.

2.Классен, К.Б. Основы измерений. Электронные методы и приборы в измерительной технике [Текст] / К.Б. Классен. – М.: Постмаркет, 2002. – 352 с.

3.Тартаковский, Д.Ф. Метрология, стандартизация и технические средства измерений [Текст]: учебник для вузов / Д.Ф. Тартаковский, А.С. Ястребов. – М.: Высш. шк., 2002. –

205 с.

4.Методы испытания, контроля и исследования машиностроительных материалов. Т. 1: Физические методы исследования металлов [Текст]. – М.: Машиностроение, 1971. – 554 с.

5.Павлов, Л.И. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов [Текст] / Л.И. Павлов. - М.: Высш.

шк., 1987. - 239 с.

6.Батавин, Б.Б. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур [Текст]/ Б.Б. Батавин, Ю.А. Концевой, Ю.В. Федорович.- М.: Радио и связь, 1985. – 264 с.

7.Рембеза, С.И. Методы измерения основных параметров полупроводников[Текст] / С.И. Рембеза. - Воронеж:

ВГУ, 1989. – 224 с.

8.Рембеза, С.И. Физические методы исследования материалов твердотельной электроники [Текст]: учебное пособие

/С.И.Рембеза, Б.М. Синельников, Е.С.Рембеза, Н.И.Каргин. – Ставрополь: СевКавГТУ, 2002. – 432 с.

9.Павлов, П.В. Физика твердого тела [Текст] / П.В. Павлов, А.Ф. Хохлов. - М: Высшая школа, 2000. – 494 с.

10.Пасынков, В.В. Материалы электронной техники [Текст] / В.В. Пасынков, В.С. Сорокин. – СПб.: «Лань», 2002. – 368 с.

524