Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение
высшего профессионального образования «Томский государственный университет систем управления и
радиоэлектроники»
Кафедра электронных приборов
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
Учебное пособие Часть 1 для студентов направления «Электроника и микроэлектроника»
(специальность «Электронные приборы и устройства»
2012
2
УДК 621.387.002
Орликов Леонид Николаевич.
Технология материалов и изделий электронной техники: учебное пособие (часть 1) для студентов направления «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства» / Л. Н. Орликов; Министерство образования и науки Российской Федерации, Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск: ТУСУР, 2012. - 98 с.
В учебном пособии рассмотрены основы технологических процессов в производстве материалов и изделий электронной техники. В том числе кинетические, диффузионные и поверхностные явления и межфазные взаимодействия в технологических процессах; физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно-лучевой и лазерной технологии; основы технологии изготовления приборов и устройств вакуумной, плазменной, твердотельной и микроэлектроники; основы автоматизации процессов производства электронных приборов и устройств; эксплуатация и сервисное обслуживание технологического оборудования. Большинство разделов содержит математические модели для инженерных расчетов.
Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» при изучении курсов «Технология материалов и изделий», «Вакуумная и плазменная электроника», «Оптическое материаловедение».
Пособие будет полезно для студентов смежных специальностей при изучении курсов «Технология приборов оптической электроники и фотоники», «Специальные вопросы технологии», а также при выполнении курсовых и дипломных работ.
© Орликов Леонид Николаевич, 2012
Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования
«Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники»
Кафедра электронных приборов
УТВЕРЖДАЮ Зав.кафедрой ЭП
_______С.М. Шандаров
«___» __________ 2012 г.
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
Учебное пособие Часть 1 для студентов направления «Электроника и микроэлектроника»
(специальность «Электронные приборы и устройства»)
Разработчик д-р техн. наук, проф.каф.ЭП
________Л.Н.Орликов «____»____________2012 г
2012
|
|
|
|
Содержание |
|
|
|
|
|
Введение |
................................................................................................................ |
|
|
|
|
|
|
6 |
|
1 Физико-химические основы технологических процессов в |
|
|
|||||||
производстве материалов и изделий электронной техники |
............................ |
|
6 |
||||||
1.1 |
Металлы .........................и сплавы, их производство и применение |
|
6 |
||||||
1.2 |
Физико-химические |
процессы |
|
получения |
некоторых |
||||
|
полупроводниковых ..........................кристаллических материалов |
|
9 |
||||||
1.3 |
Физико-химические процессы производства диэлектрических |
||||||||
|
материалов........................................................................................... |
|
|
|
|
|
|
11 |
|
1.4 |
Порошковая .....................................................................технология |
|
|
|
|
|
14 |
||
1.5 |
Физико-химические процессы получения газообразных и жидких |
||||||||
|
материалов........................................................................................... |
|
|
|
|
|
|
16 |
|
1.6 |
Подготовка .................материалов к технологическим операциям |
|
17 |
||||||
1.7 |
Физико-химические |
методы |
формирования |
пленочных |
|||||
|
материалов ...........................на элементах электронных приборов |
|
|
19 |
|||||
1.8 |
Физико .........-химические процессы получения наноматериалов |
22 |
|||||||
1.9 |
Основы ............................построения технологических процессов |
|
|
28 |
|||||
1.10 ...................................................................... |
Контрольные вопросы |
|
|
|
|
|
30 |
||
2 Основы .......................................кинетики технологических процессов |
|
|
31 |
||||||
2.1 |
Уравнение .........................................................состояния процесса |
|
|
|
|
31 |
|||
2.2 |
Кинетическое |
уравнение элементарного |
технологического |
||||||
|
процесса .........................................................................откачки газа |
|
|
|
|
|
31 |
||
2.3 |
Кинетика ............термического испарения материалов в вакууме |
32 |
|||||||
2.4 |
Физико-химические процессы кинетики конденсации |
пленок 33 |
|||||||
2.5 |
Поверхностные |
и диффузионные |
|
явления |
при |
проведении |
|||
|
технологических ................................................................операций |
|
|
|
|
34 |
|||
2.6 |
Диффузионные ..................явления в технологических процессах |
|
35 |
||||||
2.7 |
Диффузионное ..........................................................газовыделение |
|
|
|
|
36 |
|||
2.8 |
Поверхностная ...................диффузия при формировании пленок |
|
37 |
||||||
2.9 |
Объемная .........................диффузия при легировании материалов |
|
38 |
||||||
2.10 .............. |
Определение механизма диффузии газов из материала |
38 |
|||||||
2.11 ........ |
Межфазные взаимодействия в технологических процессах |
39 |
|||||||
2.12 |
Теплота , внутренняя энергия , энтальпия , энтропия , свободная |
||||||||
|
энергия................................................................................................. |
|
|
|
|
|
|
40 |
|
2.13 ........................................................................... |
Фазовая диаграмма |
|
|
|
|
|
42 |
||
2.14 |
Применение |
теории |
межфазных |
взаимодействий |
при |
||||
|
формировании ...................................высококачественных пленок |
|
|
43 |
|||||
2.15 ................... |
Кинетика процесса молякулярно - лучевой эпитаксии |
|
44 |
||||||
2.16 .... |
Фазовая диаграмма процесса роста эпитаксиальных |
пленок |
48 |
||||||
2.17 ...................................................................... |
Контрольные вопросы |
|
|
|
|
|
49 |
||
3 Физические основы вакуумной, ионно-плазменной, электронно- |
|
||||||||
лучевой и ........................................................................лазерной технологии |
|
|
|
|
|
50 |
|||
3.1 |
Вакуумная .......................................................................технология |
|
|
|
|
|
50 |
||
3.2 |
Лазерная ..........................................................................технология |
|
|
|
|
|
68 |
||
|
5 |
|
3.3 |
Электронно-лучевая технология |
.......................................................69 |
3.4 |
Ионно-лучевая технология................................................................ |
73 |
3.5 |
Плазменная технология...................................................................... |
85 |
3.6 |
Применение потоков электронов ионов и плазмы в упрочняющих |
|
|
технологиях......................................................................................... |
87 |
3.7 |
Контрольные вопросы к главе 3........................................................ |
96 |
4 Список рекомендуемой литературы ....................................................... |
97 |
|