Контрольная работа
Положительный столб тлеющего и
дугового разрядов
Содержание
1. Параметры и свойства ПС
2. Метастабильные атомы в ПС
3. Положительный столб в смеси газов. "Пеннинговские" смеси
4. Явление катафореза в смеси газов
5. Излучение ПС
Литература
1.
Параметры и свойства ПС
Выше было дано определение ПС, и было отмечено, что различие между ТР и ДР вызвано только различием свойств катодных областей, поэтому свойства положительного столба для этих двух типов разряда качественно не различаются.
Из эксперимента следует, что потенциал плазмы ПС растет от ФТП к
аноду линейно, следовательно напряженность (градиент) электрического поля в ПС
- Ez (z) =const. Тогда, поскольку
, то полный заряд единицы объема в ПС ρ (z) =0.
Рассмотрим параметры и свойства ПС низкого давления при невысокой
плотности тока. В этом простейшем случае можно пренебречь концентрацией ионов
высокой кратности по сравнению с однократными, и расписывая ρ (z) (см., раздел 1.2) получим
, (1)
откуда следует, что для любых z:
, следовательно, ПС является плазмой.
Поскольку скачки тока в объеме возникают на зарядах, а заряд ρ (z) =0, то очевидно, что jе (z) =const (z) и ji (z) =const (z), т.е. плотности токов, создаваемых
электронами и ионами, неизменны по длине ПС, что говорит о его однородности.
При этом полный ток
, (2)
т.к. μе>> μi. Заряженные частицы в ПС низкого давления при малой плотности тока образуются главным образом путем "прямой" ударной ионизации газа (со скоростью Fi=neNAk0i), а дезактивируются - путем амбиполярной диффузии на стенку разрядной камеры (трубки) и последующей рекомбинации на ее поверхности.
Радиальное распределение заряженных частиц. Уравнение Шоттки. Математическое
описание процессов ионизации и амбиполярной диффузии дает уравнение Шоттки,
представляющее собой уравнение в частных производных второго порядка, так
называемое "уравнение диффузии с источниками”. Для цилиндрического ПС это
уравнение имеет вид:
, (3)
где Δr -
радиальная часть оператора Лапласа. С учетом нейтральности плазмы (
) решения (3) имеют вид:
и
. (4)
Имея в виду, что функция Бесселя нулевого порядка J0 - осциллирующая функция, принимающая положительные значения в
диапазоне изменения аргумента 0…2,405, а именно J0
(0) =1 и J0 (2,405) =0, то очевидно, что при r=R, т.е. на стенке трубки, аргумент функции J0 должен принять значение 2,405 (рис. 1, а), а именно:
, (5, а) или
. (5, б)
Поскольку левая часть (5, б) является частотой ионизации в расчете
на один электрон νi, то
очевидно, что правая часть является частотой ухода заряженных частиц из объема
путем амбиполярной диффузии, т.е.
. Другими словами, необходимо, чтобы частота ионизации в объеме ПС
была бы достаточной для компенсации частоты ухода заряженных частиц из объема,
так что соотношения (5) представляют собой условие самоподдержания (независимости)
ПС. Из (5, б), разделяя переменные, получим
, (6)
откуда можно численно найти значение электронной температуры Te, обеспечивающей необходимую частоту
ионизации. Оказывается, что для большинства газов при конкретном для каждого
газа значении константы c и энергии
его ионизации εi, зависимость (6) имеет одинаковый вид,
показанный на рис. 1, б. Из (6) и графика видно, что Te снижается с ростом pR. Очевиден также законподобия ПС:
"два ПС в одном и том же газе с одинаковымиp1R1=p2R2 имеют одинаковую электронную температуру:
(Te) 1= (Te) 2”. Величину продольного поля
ПС Ez, необходимого для обеспечения данной
электронной температуры и самоподдержания ПС, можно получить из условия, что
энергия, теряемая электроном при столкновении с атомом газа, должна быть
скомпенсирована ускорением этого электрона в поле Ez в промежуток времени между двумя последовательными
столкновениями, т.е.
(где δ-доля энергии теряемой электроном при
упругом столкновении с атомом), откуда
или
. (7, а)
Помимо продольного поля Ez в ПС существует также радиальное поле напряженностью Er, которое обеспечивает амбиполярную
диффузию заряженных частиц на стенку и его величина:
. (7, б)
Наконец, покажем, как задание внешних электрических параметров разряда однозначно определяет внутренние параметры плазмы ПС.
В самом деле, род газа, его давление и радиус трубки (параметры c, p и R) определяют частоту амбиполярной диффузии, что требует равной ей частоты ионизации газа, а следовательно, - конкретной величины электронной температуры Te.
Для поддержания даннойTe необходимо создать в ПС поле Ez, для чего приложить от внешнего источника напряжение к ПС, равное
(LПС - длина ПС), как часть полного напряжения, приложенного к
электродам. Необходимая концентрация электронов в ПС задается величиной
плотности тока разряда, определяемую через величину полного тока Iв сечении ПС (перенос заряда):
. (8)
При этом средняя по сечению ПС концентрация электронов
. (9)
Выражение для концентрации атомов газа в возбужденном
состоянии N* найдем, используя кинетическое (балансное) уравнение:
. (10)
Первое слагаемое учитывает ударное возбуждение состояния (*), а
второе, третье и четвертое слагаемые - его дезактивацию (соответственно, путем
диффузии, ударной ионизации и излучения с переходом частицы на
нижерасположенные уровни "k”).
Учитывая, что для метастабильных состояний атома, дезактивация которых
посредством радиационных переходов отсутствует (
), последним слагаемым в (10) можно пренебречь. Тогда в
стационарном случае, когда
, для Nm
получим:
, (11)
где
- эффективная константа ударного
возбуждения метастабильного состояния,
- константа ударной ионизации из метастабильного состояния.
Поведение Nm (ne), а следовательно и Nm (j), т.к. j~ne, показано на рис. 2. При малых токах
зависимость линейна, при больших токах (больших ne) наступает её насыщение:
. (12)
Таким образом, с ростом тока происходит рост числа частиц газа в
метастабильном состоянии, причем Nm значительно превышает концентрацию частиц на уровнях,
распадающихся оптическими переходами. Рост числа метастабилей приводит к
дополнительной эффективной двухступенчатой ударной ионизации газа:
;
.
При этом условие самостоятельности ПС (5) видоизменяется:
. (13)
Анализ (13) показывает, что с ростом токаввиду повышения вклада "ступенчатой" ударной ионизации газа по сравнению с "прямой", Te и Ez снижаются.
Найдем, как будут видоизменяться параметры ПС при добавлении в газ
А газа B, такого что
,
и
. При этом говорят, что газ В является
легкоионизуемой малой добавкой (примесью) в основном газе А. Уравнение
самостоятельности ПС в смеси газов может быть получено из уравнений
амбиполярной диффузии с источниками типа (3), записанных для каждой компоненты:
;
. (14)
После преобразований (14) к виду
, (15)
можно получить его решение в виде
, (16)
откуда вытекает условие самостоятельности ПС в бинарной смеси
газов:
. (17)
Из (17) можно численно найти электронную температуру
и напряжённость поля в ПС -
. Ход таких зависимостей показан на рис.
При увеличении давления легкоионизуемой примеси
(и NB) концентрация электронов и ионов примеси
монотонно растут, а ионов основного газа -
монотонно снижается и практически достигает нуля при минимальной Te (рис. 3). Доля ионов основного газа
изменяется при этом от единицы до нуля, а
ионов примеси
- от нуля до единицы. Коэффициент
ионизации компонентов смеси: основного газа
имеет порядок 10-3…10-5 и так же, как и
, снижается с ростом pBи NB. Коэффициент ионизации примеси -
оказывается на несколько порядков выше.
Очевидно, что подобно
ведут себя и концентрации возбужденных и
метастабильных атомов основного газа-
и
.
В случае, если энергия метастабильного состояния газа А превышает
энергию ионизации газа В, т.е.
, то такая смесь называется пеннинговской, и, как
указывалось выше (см. Раздел 1.5), в ней становится возможной реакция
пеннинговской ионизации примеси при столкновении атома примеси с метастабильным
атомом основного газа, что является дополнительным источником ионизации в
плазме ПС, и что также приводит к снижению Te и Ez.
Катафорезом
называют имеющую место при разряде в смеси двух газов при
,
и
транспортировку легкоионизуемой примеси
"В" в направлении катода за счет дрейфа ионов примеси в электрическом
поле ПС. Если обозначить через
величину ионного потока в направлении поля ПС (к катоду), а
- потока атомов за счет диффузии в
противоположном направлении (к аноду), то в сечении ПС с произвольной
координатой z:
или
, (18)
где D-коэффициент диффузии. Решим уравнение (18) для стационарного состояния ПС в двух практически важных случаях:
а) когда
относительно большое, так, что
. Тогда решение (18) для концентрации
примеси даст линейное падение с ростом z (снижение
в направлении анода)
. (19)
Из (19), обозначив через NB* концентрацию атомов примеси в отсутствии разряда, легко найти
координату z0, где
:
. (20)
б) при малом
, когда
, из (18) получим
. (21)
Таким образом видно, что в области
присутствуют частицы основного и примесного газов, а в области
-только основного газа, другими словами,
атомы легкоионизуемой примеси сконцентрированы у катода (рис.4, а). Отметим,
что данное явление используется для электроразрядной очистки инертных газов от
легкоионизуемых, в том числе молекулярных, примесей (рис.4, б).
Если обеспечить выведение атомов примесного газа В из разряда
вблизи катода, то
, то есть обратный диффузионный поток
отсутствует, и газ В транспортируется из анодной области в катодную,
обеспечивая тем самым однородное продольное распределение своих атомов. Такая
схема успешно используется для создания однородного распределения рабочего
вещества в катафорезных лазерах на парах металлов (рис. 4, в и рис.5.9).
, (22)